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原文传递容器搬送装置及容器搬送系统

专利名称：	容器搬送装置及容器搬送系统
摘要：	本发明提供一种能按照处理装置的处理速度或配置结构等，恰当地搬送容器的容器搬送装置和容器搬送系统。本发明的容器搬送系统具有多个搬送内部收纳基板的容器的容器搬送装置，该容器搬送装置由具有使保持的所述容器升降动作的升降机构和直线移动机构的搬送机械手、载置至少一个容器的载置台构成。
专利类型：	发明专利
申请人：	日商乐华股份有限公司
发明人：	崎谷文雄
专利状态：	有效
申请日期：	2006-06-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680017729.3
公开号：	CN101180719
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	李贵亮
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本国广岛县
所属类别：	发明专利