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原文传递一种四自由度倒装键合头

专利名称：	一种四自由度倒装键合头
摘要：	本发明公开了一种四自由度倒装键合头，包括一个基于滚珠花键副的两自由度串联机构、一个两自由度的并联机构和吸嘴。在串联机构中，滚珠花键轴通过转动副与滑块相连，驱动滑块实现倒装键合头Z方向的移动；其套筒通过另一转动副固定在机架上，驱动与套筒固连的拨叉实现倒装键合头Z方向的转动；并联机构由上、下平台，以及连接两者的一条固定支链和两条运动运动支链组成，驱动两条运动支链中的移动副实现倒装键合头X、Y方向的微小转动；并联机构的上平台与滚珠花键轴固定连接，下平台安装拾取/贴放裸芯的吸嘴。本发明实现了倒装贴片中调平、对准和
专利类型：	发明专利
申请人：	华中科技大学
发明人：	尹周平;李学荣;吴金波;熊有伦
专利状态：	有效
申请日期：	2004-11-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410061154.8
公开号：	CN1624891
代理机构：	华中科技大学专利中心
代理人：	曹葆青
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
所属类别：	发明专利