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原文传递重量轻的键合头组件

专利名称：	重量轻的键合头组件
摘要：	本发明提供了一种键合头组件，其包含有：键合体，其用于安装键合工具；支撑结构，其被设置驱动来移动该键合头组件到不同位置；柔性元件，其沿着耦接该键合体和支撑结构的至少一个平面大体设置，以在相对于支撑结构移动期间柔性支撑键合体；以及和该支撑结构相耦接的马达，其有效驱动该键合体以沿着大体垂直于该至少一个平面延伸的轴线相对于支撑结构移动。
专利类型：	发明专利
申请人：	先进科技新加坡有限公司
发明人：	高内加·阿吉特;湋多森·盖瑞·彼得
专利状态：	有效
申请日期：	2006-10-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610140824.4
公开号：	CN1956144
代理机构：	北京申翔知识产权代理有限公司
代理人：	周春发
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	新加坡新加坡市2义顺7道768924
所属类别：	发明专利