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大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置
| 专利名称： | 大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置 |
| 摘要： | 本发明涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置。在至少一个方面中，本发明提供了一种电子设备制造装置(Fab)，该装置使用能透明集成到使用大批量载具的现有Fab中的小批量载具。制造执行系统(MES)可以与本发明的小批量Fab相互作用就好象小批量Fab是现有大批量Fab中的任何其他组件，而不需要知道如何控制小批量Fab组件(例如，指定处理清单)。根据本发明的小批量Fab可以封装小批量组件的小批量Fab的内部用途，并且该小批量Fab对于大批量Fab的MES来说，就象小批量Fab是使用大批量载具的一个 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料有限公司 |
| 发明人： | 阿米特·皮里;大卫·达芬;艾瑞克·安德鲁·恩格尔哈特 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-11-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410095460.3 |
| 公开号： | CN1636846 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 郭思宇 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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