专利名称: | 大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置 |
摘要: | 本发明涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置。在至少一个方面中,本发明提供了一种电子设备制造装置(Fab),该装置使用能透明集成到使用大批量载具的现有Fab中的小批量载具。制造执行系统(MES)可以与本发明的小批量Fab相互作用就好象小批量Fab是现有大批量Fab中的任何其他组件,而不需要知道如何控制小批量Fab组件(例如,指定处理清单)。根据本发明的小批量Fab可以封装小批量组件的小批量Fab的内部用途,并且该小批量Fab对于大批量Fab的MES来说,就象小批量Fab是使用大批量载具的一个 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 应用材料有限公司 |
发明人: | 阿米特·皮里;大卫·达芬;艾瑞克·安德鲁·恩格尔哈特 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-11-05T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200410095460.3 |
公开号: | CN1636846 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 郭思宇 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚 |
所属类别: | 发明专利 |