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用于材料控制系统接口的方法和设备
| 专利名称： | 用于材料控制系统接口的方法和设备 |
| 摘要： | 提供了一种管理小批次在电子设备制造设施中的处理工具之间移动的方法和设备。在一些实施例中，确定多个将处理的优先批次并且在处理工具的衬底装载站保留相等数目的载体存储位置。通过处理并且从衬底装载站提升占据的非优先批次和/或移动未处理的占据的非优先批次来使多个保留的载体存储位置可用。然后把优先批次转送到保留的载体存储位置。还提供了其他实施例。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料有限公司 |
| 发明人： | 戴维·C.·杜芬;丹尼尔·R.·杰索普;迈克尔·特弗拉;艾米特·普利;格雷德·L.·沃纳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-02-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510069717.2 |
| 公开号： | CN1681083 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 康建忠 |
| 分类号： | H01L21/00 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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