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原文传递氟浓度的测量装置、测量方法、测量吸附剂吸附效率的方法

专利名称：	氟浓度的测量装置、测量方法、测量吸附剂吸附效率的方法
摘要：	本发明属于环保、化工技术领域，尤其涉及一种氟浓度的测量装置、测量方法、测量吸附剂吸附效率的方法。该装置包括依次连接的气体过滤器、氯化钙干燥器、气体增压泵、气体质量流量计和多阶测量单元，多阶测量单元包括至少3阶串联的测量单元，每阶测量单元包括进气管、出气管、吸收瓶、磁力搅拌器、自动电位滴定仪和氟离子选择电极对，进气管和出气管插入吸收瓶内，氟离子选择电极对一端插入吸收瓶内，另一端通过连接线与自动电位滴定仪连接，吸收瓶的底端与磁力搅拌器连接，吸收瓶内含有缓冲溶液。该装置提高了含氟气体中氟浓度测定准确率，降低了测定设备和耗材的成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	东北大学
发明人：	杨酉坚;王兆文;汪海政;陶文举;于江玉;刘风国
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201910900983.7
公开号：	CN110618237A
代理机构：	北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	韩国胜
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	110169 辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
主权项：	1.一种氟浓度的测量装置，其特征在于，包括依次连接的气体过滤器、氯化钙干燥器、气体增压泵、气体质量流量计和多阶测量单元；多阶测量单元包括至少3阶串联的测量单元；每阶测量单元包括进气管、出气管、吸收瓶、磁力搅拌器、自动电位滴定仪和氟离子选择电极对；进气管和出气管插入吸收瓶内，氟离子选择电极对一端插入吸收瓶内，氟离子选择电极对的另一端通过连接线与自动电位滴定仪连接，吸收瓶的底端与磁力搅拌器连接；吸收瓶内含有缓冲溶液，缓冲溶液为离子缓冲溶液TISAB。 2.根据权利要求1所述的氟浓度的测量装置，其特征在于，多阶测量单元为3阶测量单元。 3.根据权利要求2所述的氟浓度的测量装置，其特征在于，吸收瓶为孟氏洗瓶。 4.根据权利要求3所述的氟浓度的测量装置，其特征在于，气体过滤器的材质为特氟龙，气体过滤器的孔径为0.01μm。 5.根据权利要求4所述的氟浓度的测量装置，其特征在于，气体增压泵和气体质量流量计的材质均为316L不锈钢。 6.一种氟浓度的测量方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、将含氟气体依次通过气体过滤器，氯化钙干燥器，气体增压泵和气体质量流量计，得到含氟气体的气体流量； S2、将经过气体质量流量计的含氟气体通过进气管通入第一阶测量单元中采用第一缓冲溶液进行一阶吸附，得到第一吸附液； S3、将经过第一阶测量单元吸附后的含氟气体通入第二阶测量单元中采用第二缓冲溶液进行二阶吸附，得到第二吸附液； S4、将经过第二阶测量单元吸附后的含氟气体通入第三阶测量单元中采用第三缓冲溶液进行三阶吸附，得到第三吸附液；以此类推，得到第n阶吸附液，n大于等于3；采用氟离子选择电极对第一吸附液、第二吸附液、第三吸附液至第n阶吸附液中的氟离子浓度进行在线测试，n者氟离子浓度之和即可换算为含氟气体中的含氟量。 7.根据权利要求6所述的氟浓度的测量方法，其特征在于，氟离子选择电极法根据预先得到的氟离子选择电极标准曲线得出第一吸附液、第二吸附液、第三吸附液至第n阶吸附液中的氟离子浓度。 8.一种测试吸附剂吸附效率的方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、将初始配置已知氟化氢浓度的氩气-氟化氢混合气体依次通入气体过滤器，氯化钙干燥器，气体增压泵和气体质量流量计，得到初始配置的氩气-氟化氢混合气体的流量； S2、将经过气体质量流量计的氩气-氟化氢混合气体通过预热管预热，然后通过盛装吸附剂的吸附管； S3、将经过吸附管的氩气-氟化氢混合气体输出的尾气通入第一阶测量单元中采用第一缓冲溶液进行一阶吸附，得到第一吸附液； S4、将经过第一阶测量单元吸附后的尾气通入第二阶测量单元中采用第二缓冲溶液进行二阶吸附，得到第二吸附液； S5、将经过第二阶测量单元吸附后的尾气通入第三阶测量单元中采用第三缓冲溶液进行三阶吸附，得到第三吸附液；采用氟离子选择电极对第一吸附液、第二吸附液、第三吸附液中的氟离子浓度进行在线测试，分别得到三条氟离子浓度随时间的变化曲线，通过换算即可得到吸附剂对氟化氢实时吸附效率。 9.根据权利要求8所述的测试吸附剂吸附效率的方法，其特征在于，任意两个时刻t1和t2之间吸附管内吸附剂对氟化氢的吸附效率为： η＝[(c12+c22+c32-c11-c21-c31)VMHF]/[c0(t2-t1)W*MF] 其中η表示任意两个时刻t1和t2(t1
所属类别：	发明专利