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原文传递基板传送装置

专利名称：	基板传送装置
摘要：	本发明公开了一种基板传送装置，更具体地，本发明公开一种基板传送装置，其能够通过控制一个气体喷射单元和一个气体抽吸单元而容易地在使基板更加平展的状态下传送浮在一个基板支撑板上的基板。所述基板传送装置包括：一个用于传送基板的基板传送单元；一个基板支撑板，其包括多个用于浮起所述基板的气体喷射单元以及多个用于使所述基板保持平展的气体抽吸单元；以及一个换气单元，其分别地导管连接至所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，用于所述气体喷射单元的气体喷射和所述气体抽吸单元的气体抽吸。
专利类型：	发明专利
申请人：	三发机电有限公司
发明人：	郑准模
专利状态：	有效
申请日期：	2005-11-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510123319.4
公开号：	CN1775641
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	朱登河;王学强
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	韩国庆尚南道
所属类别：	发明专利