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原文传递基板传送装置

专利名称：	基板传送装置
摘要：	一种基板传送装置，包括具有不同固定磁性的第一磁性区块交替设置在相对两侧的承载平台，以及具有二组可变磁性的第二磁性区块设置在两侧的传送轨道，其中二组第二磁性区块间的距离大于承载基板的宽度，第二磁性区块与第一磁性区块间的斥力使承载平台能够磁浮于传送轨道之上，并借由改变第二磁性区块的磁性使承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动。
专利类型：	发明专利
申请人：	友达光电股份有限公司
发明人：	潘俊斌
专利状态：	有效
申请日期：	2006-03-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610054799.8
公开号：	CN1838397
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	魏晓刚;李晓舒
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹市
所属类别：	发明专利