专利名称: | 使用非牛顿流体运输衬底的方法和装置 |
摘要: | 提供了用于运输衬底的方法。在该方法中,提供非牛顿流体以及衬 底在非牛顿流体中悬浮。非牛顿流体能支撑衬底。此后,向非牛顿流体 施加足够的力以使得非牛顿流体流动,从而该流沿着流的方向移动衬 底。也描述了使用非牛顿流体运输衬底的装置和系统。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 兰姆研究有限公司 |
发明人: | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·帕克斯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-06-15T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610106083.8 |
公开号: | CN1880200 |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人: | 刘华联 |
分类号: | B65G51/01(2006.01)I |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |