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原文传递湿度传感器

专利名称：	湿度传感器
摘要：	湿度传感器具有：形成于基板上的下部电极；覆盖上述下部电极的第一湿敏膜；形成于上述第一湿敏膜之上并具有由多个开口部形成的预定的开口图案的上部电极；以及覆盖上述上部电极的第二湿敏膜，上述第二湿敏膜通过上述上部电极的上述开口部与上述第一湿敏膜连接。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	三美电机株式会社
发明人：	中根健智
专利状态：	有效
申请日期：	2017-09-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201780055964.8
公开号：	CN109690302A
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	金成哲;宋春华
分类号：	G01N27/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种湿度传感器，其特征在于，具有：形成于基板上的下部电极；覆盖上述下部电极的第一湿敏膜；形成于上述第一湿敏膜之上并具有由多个开口部形成的预定的开口图案的上部电极；以及覆盖上述上部电极的第二湿敏膜，上述第二湿敏膜在上述上部电极的上述开口部与上述第一湿敏膜连接。 2.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述开口部的至少一个的面积为上述上部电极的包含上述开口部的面积的2.92×10－6～1.0×10－2。 3.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述开口部的长度至少为上述上部电极的长度的1/350～1/10。 4.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述开口部的长度为1～5μm。 5.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述上部电极具有格子状的图案。 6.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述上部电极具有交错状的图案。 7.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述上部电极具有梯状的图案，与上述开口部的长边方向正交的宽度的大小为在与上述开口部的长边方向正交的方向上的上述上部电极的一边的长度的1/100～1/10。 8.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述上部电极具有梯状的图案，与上述开口部的长边方向正交的宽度的大小为1～5μm。 9.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，俯视时的上述下部电极和上述上部电极重叠的区域的轮廓为与搭载该湿度传感器的传感器装置的开口部的形状近似的形状。 10.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述第二湿敏膜的厚度为上述第一湿敏膜的厚度的1～10倍。 11.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，上述第一湿敏膜和上述第二湿敏膜为相同的厚度。 12.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，还具有形成于上述第二湿敏膜之上且位于上述上部电极的上方的保护膜。 13.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，还具有覆盖上述上部电极的上表面及侧面的保护膜，上述第二湿敏膜覆盖上述上部电极和上述保护膜。 14.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，还具有形成于上述第二湿敏膜之上且位于上述开口部的上方的保护膜。
所属类别：	发明专利