专利名称: |
微型湿度传感器 |
摘要: |
本发明提供一种微型湿度传感器,涉及微机电系统技术领域。所述微型湿度传感器包括:敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底;其中,所述框架固定在衬底上;所述支撑层通过悬臂梁与框架连接;所述敏感结构固定在支撑层上;所述信号线与敏感结构连接,并固定在悬臂梁上。本发明提供的微型湿度传感器结构简单、易于加工,且能够加快响应速度,减小湿滞回差,缩小器件体积。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
北京;11 |
申请人: |
中国科学院微电子研究所 |
发明人: |
傅剑宇;刘瑞文;侯影;魏德波;刘超;王玮冰;陈大鹏 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201811069136.2 |
公开号: |
CN108896612A |
代理机构: |
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 |
代理人: |
张瑾 |
分类号: |
G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00 |
申请人地址: |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |
主权项: |
1.一种微型湿度传感器,其特征在于,包括:敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底;其中,所述框架固定在衬底上;所述支撑层通过悬臂梁与框架连接;所述敏感结构固定在支撑层上;所述信号线与敏感结构连接,并固定在悬臂梁上。 |
所属类别: |
发明专利 |