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原文传递微型湿度传感器

专利名称：	微型湿度传感器
摘要：	本发明提供一种微型湿度传感器，涉及微机电系统技术领域。所述微型湿度传感器包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，所述框架固定在衬底上；所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；所述敏感结构固定在支撑层上；所述信号线与敏感结构连接，并固定在悬臂梁上。本发明提供的微型湿度传感器结构简单、易于加工，且能够加快响应速度，减小湿滞回差，缩小器件体积。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院微电子研究所
发明人：	傅剑宇;刘瑞文;侯影;魏德波;刘超;王玮冰;陈大鹏
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201811069136.2
公开号：	CN108896612A
代理机构：	北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：	张瑾
分类号：	G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00
申请人地址：	100029 北京市朝阳区北土城西路3号
主权项：	1.一种微型湿度传感器，其特征在于，包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，所述框架固定在衬底上；所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；所述敏感结构固定在支撑层上；所述信号线与敏感结构连接，并固定在悬臂梁上。
所属类别：	发明专利