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原文传递湿度传感器装置

专利名称：	湿度传感器装置
摘要：	本发明涉及一种湿度传感器装置。该湿度传感器装置具有集成的信号处理组件(10)、以及设置在信号处理组件上的至少一个电容式的湿度传感器。封装件部分地包围信号处理组件并且在湿度传感器的区域中具有凹部(31)。在凹部的区域中设置有至少一个低电阻的、能导电的排导元件(24)，经由排导元件能够排导在静电放电的情况下产生的放电电流，以至少保持信号处理组件的敏感区域不受危害。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	奥地利;AT
申请人：	益加义电子有限公司
发明人：	阿尔宾·海德尔
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-08T00:00:00+0800
申请号：	CN201780086991.1
公开号：	CN110312930A
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	张英
分类号：	G01N27/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	奥地利恩尔维茨多夫
主权项：	1.一种湿度传感器装置，具有： -集成的信号处理组件， -设置在所述信号处理组件上的至少一个电容式的湿度传感器， -封装件，所述封装件部分地包围所述信号处理组件并且在所述湿度传感器的区域中具有凹部，其特征在于，在所述凹部(31；131)的区域中设置有至少一个低电阻的、能导电的排导元件(24；124)，经由所述排导元件能够排导在静电放电的情况下产生的放电电流，以至少保持所述信号处理组件(10；110)的敏感区域不受危害。 2.根据权利要求1所述的湿度传感器装置，其特征在于电容式的湿度传感器，所述湿度传感器由以下构成： -设置在所述信号处理组件(10；110)上的至少一个平坦的基础电极(21.1、21.2；121)， -设置在所述基础电极(21.1、21.2；121)之上的测量层(22、22.1、22.2；122)，所述测量层的电容量根据湿度而改变，和 -设置在所述测量层(22、22.1、22.2；122)之上的至少一个能被湿气穿透的平坦的覆盖电极(23.1、23.2；123.1、123.2)。 3.根据权利要求2所述的湿度传感器装置，其特征在于，所述基础电极(21.1、21.2；121)的和/或所述覆盖电极(23.1、23.2；123.1、123.2)的面分别仅遮盖所述凹部到基础电极平面和/或覆盖电极平面中的投影的一部分。 4.根据权利要求3所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少在所述基础电极平面中的凹部投影的未被遮盖的部分中设置有一个或多个排导元件(24；124)。 5.根据权利要求2所述的湿度传感器装置，其特征在于，所述凹部(31；131)具有圆形横截面，并且所述基础电极(21.1、21.2；121)和/或所述覆盖电极(23.1、23.2；123.1、123.2)在所述凹部到所述基础电极平面和/或所述覆盖电极平面中的投影的区域中分别构造为扇形的。 6.根据权利要求5所述的湿度传感器装置，其特征在于，所述基础电极(21.1、21.2；121)和/或所述覆盖电极(23.1、23.2；123.1、123.2)包括两个扇形部，所述扇形部彼此镜面对称地对置，并且至少在所述扇形部之外的区域中设置有两个扇形的、彼此同样镜面对称地对置的排导元件(24；124)。 7.根据权利要求4或6所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少一个所述排导元件(24；124)在凹部投影之外延伸经过在所述信号处理组件(10；110)之上的另外的面区域。 8.根据权利要求7所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少一个所述排导元件(24；124)在所述凹部投影之外延伸经过所述信号处理组件(10；110)的整个面区域。 9.根据权利要求2所述的湿度传感器装置，其特征在于， -所述信号处理组件(10；110)在朝所述湿度传感器(20)的方向上具有在最上方的金属布线平面(13；113)，和 -在所述金属布线平面(13；113)之上设置有钝化层(40；140)，和 -在位于所述钝化层(40；140)之上的基础电极平面中设置有至少一个所述基础电极(21.1、21.2；121)以及至少一个所述排导元件(24；124)，和 -在位于所述基础电极平面之上的测量层平面中设置有所述测量层(22、22.1、22.2；122)，所述测量层在至少一个所述排导元件(24；124)的区域中至少包括多个凹部，和 -在位于测量平面之上的覆盖电极平面中，至少一个所述覆盖电极(23.1、23.2；123.1、123.2)设置在至少一个所述基础电极之上。 10.根据前述权利要求中至少一项所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少一个所述排导元件(24；124)由金属层构成。 11.根据权利要求10所述的湿度传感器装置，其特征在于，所述金属层与电容式的所述湿度传感器(20)的其他金属部件相比具有更低的导电性。 12.根据前述权利要求中至少一项所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少一个所述排导元件(24；124)将所述放电电流向地排导或向所述信号处理组件(10；110)的供电电压源排导。 13.根据权利要求12所述的湿度传感器装置，其特征在于，单独的键合线(124.1a)用于排导所述放电电流，所述键合线不用于接地连接或不用于为所述信号处理组件(110)提供电压。 14.根据前述权利要求中至少一项所述的湿度传感器装置，其特征在于，至少一个所述排导元件(24；124)仅遮盖凹部投影的一部分，并且至少一个所述排导元件在朝凹部投影的中央的方向上尖形收尾。 15.根据前述权利要求中至少一项所述的湿度传感器装置，其特征在于，在所述凹部(31；131)中，在电容式的所述湿度传感器(20)之上设置有能被湿气穿透的保护层(60；160)，其中，至少一个所述排导元件(24；124)位于所述凹部(31；131)的一个区域中，所述保护层(60；160)在该区域中具有最小厚度。
所属类别：	发明专利