专利名称: | 搬运装置及其承载装置 |
摘要: | 本发明涉及一种搬运装置,可用以对数个晶片进行运载。搬运装置包括 至少一手臂与一承载装置。承载装置是以可分离方式设置于手臂。承载装置 包括一本体与至少一把手部,其中,本体用以容置晶片,把手部设置于本体 的一侧,把手部包括一定位孔、一第一表面及一第二表面,定位孔由第一 表面朝向第二表面延伸。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人: | 张世昌;辛裕民 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-01-18T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610006307.8 |
公开号: | CN101003328 |
代理机构: | 隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人: | 王玉双;史 霞 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾新竹市 |
所属类别: | 发明专利 |