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原文传递 搬运装置及其承载装置
专利名称: 搬运装置及其承载装置
摘要: 本发明涉及一种搬运装置,可用以对数个晶片进行运载。搬运装置包括 至少一手臂与一承载装置。承载装置是以可分离方式设置于手臂。承载装置 包括一本体与至少一把手部,其中,本体用以容置晶片,把手部设置于本体 的一侧,把手部包括一定位孔、一第一表面及一第二表面,定位孔由第一 表面朝向第二表面延伸。
专利类型: 发明专利
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
发明人: 张世昌;辛裕民
专利状态: 有效
申请日期: 2006-01-18T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200610006307.8
公开号: CN101003328
代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
代理人: 王玉双;史 霞
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 中国台湾新竹市
所属类别: 发明专利
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