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原文传递外观检查装置

专利名称：	外观检查装置
摘要：	一种外观检查装置，其特征在于，包括：在外周部上具有逐个地收纳并搬送工件的多个工件收纳部(31a)的转动台(31)；吸附保持收纳于工所述件收纳部(31a)的工件(w)并向所述转动台(31)的外部空间送出的送出装置；和检查从所述转动台(31)送出的所述工件(w)的外观的检查装置，其中，使所述转动台(31)的所述工件收纳部定位于规定位置后，通过作为所述送出装置的吸附喷嘴(28)将所述工件收纳部(31a)的所述工件(w)送出，通过作为检查装置的摄像装置(37)对转动台(31)外部空间的
专利类型：	发明专利
申请人：	东京威尔斯股份有限公司
发明人：	水上博文
专利状态：	有效
申请日期：	2006-09-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610151457.8
公开号：	CN1929087
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	沙捷
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利