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原文传递基板传送装置

专利名称：	基板传送装置
摘要：	本发明公开了一种具有多对基板支撑机构的基板传送装置。所述基板支撑机构包括：第一辊，其设在第一旋转轴上；以及第二辊，其设在第二旋转轴上，所述基板支撑机构在沿基板的厚度方向将所述基板支撑在所述第一和第二辊之间的同时，沿传送方向传送所述基板。所述每对基板支撑机构布置为沿所述基板的宽度方向彼此相对，并且所述多对基板支撑机构沿所述传送方向设置。此外，在所述第一和第二旋转轴中的任何一个上设置有基板位置调节部件，所述基板位置调节部件通过与所述基板中平行于所述传送方向的端面接触来调节所述基
专利类型：	发明专利
申请人：	新光电气工业株式会社
发明人：	须山敏明;川原慎;山崎胜;六川贵博
专利状态：	有效
申请日期：	2006-09-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610141038.6
公开号：	CN1939816
代理机构：	北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人：	顾红霞;张天舒
分类号：	B65G13/00(2006.01)I
申请人地址：	日本长野县
所属类别：	发明专利