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半导体制造用自动化物料运输系统
| 专利名称： | 半导体制造用自动化物料运输系统 |
| 摘要： | 本发明提供了一种半导体制造用自动化物料运输系统，包括：至少一个 储料箱，每个储料箱至少包含一个储料单元；以及输送机构，所述输送机构 其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车，所述空中运输车至少包 含一个机械臂，所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料，并随后 输送到预定位置，所述储料箱的高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之 一。本发明的自动化物料运输系统节省了FAB内的立体空间，为其它设备的 摆放提供了空间，方便了操作人员在工位之间的移动，而且储料箱自身也便 于移动。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 发明人： | 赵增利;郭延中;马魁武;丁江波 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-12-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510111678.8 |
| 公开号： | CN1988125 |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 逯长明 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203上海市浦东新区张江路18号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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