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原文传递一种软X射线显微成像装置

专利名称：	一种软X射线显微成像装置
摘要：	本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，三维位移机构分别与制冷腔和真空靶室连接，真空靶室具有相对的两个出口；真空单元包括分别与真空靶室的两个出口连接的第一真空泵和第二真空泵；脉冲激光发生器发出的经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州瑞派宁科技有限公司
发明人：	郑睿;刘炜;谢庆国;肖鹏
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201811645352.7
公开号：	CN109696447A
分类号：	G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	215163 江苏省苏州市高新区锦峰路8号17幢
主权项：	1.一种软X射线显微成像装置，所述软X射线显微成像装置包括软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，其特征在于，所述软X射线显微成像装置还包括：三维位移机构，所述三维位移机构分别与所述制冷腔和所述真空靶室连接，所述真空靶室具有相对的两个出口；真空单元，所述真空单元包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别与所述真空靶室的两个出口连接；激光单元，所述激光单元包括脉冲激光发生器以及激光聚焦镜，所述脉冲激光发生器发出的激光经过所述激光聚焦镜后聚焦于所述喷嘴处；反射单元，所述反射单元具有第二反射镜，所述反射单元与所述真空靶室连通；样本室，所述样本室与所述真空靶室连通，所述样本室内容置毛细玻璃管，所述毛细玻璃管的位置与所述喷嘴以及所述反射镜的焦点对应；以及探测器，所述探测器与所述样本室连接并与所述毛细玻璃管的位置对应。 2.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述真空靶室包括：三通管，所述三通管具有相对的第一出口和第二出口以及位于所述第一出口和所述第二出口之间的第三出口，所述第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工作气体管道分别穿过所述支撑板并与所述制冷腔连接，所述第三出口与所述第一真空泵连接；以及多通管，所述多通管包括相对的顶部开口和底部开口以及位于所述顶部开口与所述底部开口之家的若干个侧面开口，所述顶部开口与所述第二出口紧密连接，所述底部开口处设置有与所述第二真空泵连接的真空出口，所述喷嘴的位置与所述侧面开口对应，所述喷嘴下方设置有凹槽，所述凹槽通过转接头固定，所述转接头设置于所述真空出口处，所述凹槽与所述真空出口连通。 3.根据权利要求2所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述喷嘴处设置有温度传感器。 4.根据权利要求2所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述转接头上设置有导热杆，所述导热杆与所述制冷腔连接。 5.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述喷头外围设置有加热器。 6.根据权利要求2所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述支撑板设置于所述真空靶室上，所述支撑板上设置有穿过所述支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，所述制冷剂入口管道和所述制冷剂出口管道与所述制冷腔连通，所述工作气体管道穿过所述制冷腔并与所述喷嘴连接；第一波纹管设置于所述支撑板与所述真空靶室之间，所述制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从所述第一波纹管内部穿过。 7.根据权利要求2所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述三维位移机构包括第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器，所述第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器均设置于所述支撑板与所述真空靶室之间并分别控制所述支撑板沿相互垂直的三个方向移动。 8.根据权利要求7所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述软X射线光源还包括相互平行布置且套设于所述波纹管外侧的第一支撑板、第二支撑板以及第三支撑板，所述第一支撑板通过所述第三位移调节器可活动地固定于所述支撑板上，所述第二支撑板通过所述第二位移调节器可活动地固定于所述第一支撑板上，所述第二支撑板同时通过所述第一位移调节器可活动地固定于所述第三支撑板上，所述第三支撑板固定于所述真空靶室上。 9.根据权利要求8所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述第一位移调节器包括第一支撑架、第一推进器、第一导轨以及第一导轨槽，所述第一支撑架固定于所述第三支撑板上，所述第一推进器固定于所述第一支撑架上并与所述第二支撑板对应，所述第一导轨沿第一方向固定于所述第三支撑板上，所述第一导轨槽固定于所述第二支撑板下方并与所述第一导轨滑动配合。 10.根据权利要求9所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述第二位移调节器包括第二支撑架、第二推进器、第二导轨以及第二导轨槽，所述第二支撑架固定于所述第二支撑板上，所述第二推进器固定于所述第二支撑架上并与所述第一支撑板对应，所述第二导轨沿第二方向固定于所述第二支撑板上，所述第二导轨槽固定于所述第一支撑板下方并与所述第二导轨滑动配合，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。 11.根据权利要求11所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述第三位移调节器包括螺杆和螺帽，所述螺杆沿第三方向均匀的固定于所述第一支撑板上，所述支撑板通过所述螺帽与所述螺栓的配合固定于所述螺栓上，所述第三方向与所述第一方向、所述第二方向相互垂直。 12.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述真空单元还包括真空控制器，所述真空控制器分别与所述第一真空泵和所述第二真空泵连接。 13.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述激光单元还包括第一反射镜，所述第一反射镜设置于所述脉冲激光发生器和所述激光聚焦镜之间以传导激光光路。 14.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述脉冲激光器下方设置有升降台，所述第一反射镜下方设置有第一调节器，所述激光聚焦镜下方设置有第二调节器。 15.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述反射单元包括第三支架、第三螺纹杆以及盲板，所述第三螺纹杆设置于所述第三支架上，所述盲板设置于所述第三螺纹杆上，所述第二反射镜安装于所述盲板上。 16.根据权利要求15所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述反射单元还包括第二波纹管，所述第二波纹管分别与所述盲板和所述真空靶室连接。 17.根据权利要求15所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述第三螺纹杆上设置有与所述第三螺纹杆配合的多个第三螺栓，所述第三螺栓分别位于所述盲板的两侧。 18.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述样本室包括样本室外壳，所述样本室外壳的相对的两个侧壁分别与所述真空靶室和所述探测器连接。 19.根据权利要求18所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述样本室内设置有毛细玻璃管和光阑管，所述光阑管内具有沿轴线方向延伸的光阑孔，所述光阑孔的一端对应所述毛细玻璃管，所述光阑孔的另一端对应所述探测器，所述喷嘴、所述第二反射镜的焦点、所述毛细玻璃管的顶端以及所述光阑孔位于同一条水平线上。 20.根据权利要求19所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述光阑管和所述毛细玻璃管之间还设置有棱台，所述棱台中具有棱台孔，所述棱台孔的延伸方向与所述光阑孔的延伸方向一致，所述棱台孔靠近所述毛细玻璃管的一端处设置有波带片。 21.根据权利要求20所述的软X射线显微成像装置，其特在于，所述棱台设置于三维电位移台上，所述三维电位移台与设置于所述样本室外壳上的航空插头连接。 22.根据权利要求19所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述毛细玻璃管设置于样本旋转台上，所述样本旋转台设置于样本二维调节平台上。 23.根据权利要求1所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述探测器包括闪烁晶体和硅光电倍增管，所述闪烁晶体与所述样本室对应，所述硅光电倍增管与所述闪烁晶体耦合。 24.根据权利要求23所述的软X射线显微成像装置，其特征在于，所述探测器下方设置有三维位移台。。
所属类别：	发明专利