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原文传递药液处理装置

专利名称：	药液处理装置
摘要：	本发明涉及一种药液处理装置，第1，解决喷射的药液导致的紊流、储液、变形问题，第2，防止在液中的上浮、鼓动、变形等的搬送损坏，也不会对电路形成面造成损伤。该药液处理装置用于基板的制造工序中，利用药液对基板材料进行表面处理。并且具有液槽，该液槽盛满该药液；输送机，该输送机配设在该液槽内并搬送该基板材料；喷嘴，该喷嘴配设在该液槽内并对该基板材料喷射该药液。该输送机具备运送该基板材料的夹持滚筒群，这些夹持滚筒由夹持并运送该基板材料的两侧端面的驱动滚筒构成，例如夹持并运送的一边的滚筒
专利类型：	发明专利
申请人：	东京化工机株式会社
发明人：	新山喜三郎;菅原清司
专利状态：	有效
申请日期：	2007-09-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710154150.8
公开号：	CN101155479
代理机构：	北京三幸商标专利事务所
代理人：	刘激扬
分类号：	H05K3/06(2006.01)I
申请人地址：	日本国东京都
所属类别：	发明专利