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索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法
| 专利名称： | 索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法，即便在基于GIXD的测定中X射线照射区域在试料表面上展宽，检测器上的衍射像在面内方向也不会展宽，能够以短的测定时间且高的分辨率来进行测定。索勒狭缝(100)具备多个金属制的薄板(110)，所述多个金属制的薄板(110)各自相对于底面垂直，相互隔开规定的角度间隔被排列为拱形，使得从特定的焦点向放射方向通过X射线，该索勒狭缝(100)被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线以测角器圆的中心为特定的焦点来通过的位置而被使用。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 株式会社理学 |
| 发明人： | 拉迪斯拉洛·皮娜;阿道夫·茵内曼;表和彦;小林信太郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811238458.5 |
| 公开号： | CN109709118A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 王晖 |
| 分类号： | G01N23/20(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 日本国东京都 |
| 主权项： | 1.一种索勒狭缝，其特征在于，具备： 多个薄板，各自相对于底面垂直，并且相互隔开规定的角度间隔而排列为拱形，以使得从特定的焦点向放射方向通过X射线， 所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线将测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置而被使用。 2.根据权利要求1所述的索勒狭缝，其特征在于， 面内方向的分辨率为1°以下。 3.一种X射线衍射装置，具备权利要求1或2所述的索勒狭缝，其特征在于，所述X射线衍射装置还具备： X射线源，向所述试料照射X射线； 面内臂，被设置成相对于所述测角器圆的中心能够旋转；和 检测器，被设置于所述面内臂上，在一维或者二维的检测区域检测通过了所述索勒狭缝的衍射X射线， 所述索勒狭缝被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至所述试料并在试料面上被衍射的X射线将所述测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置。 4.根据权利要求3所述的X射线衍射装置，其特征在于， 所述X射线衍射装置还具备：时间延迟积分控制部，根据所述检测器上的X射线强度的检测位置和所述面内臂的旋转角度，来计算针对空间上的检测位置所检测出的X射线强度。 5.根据权利要求3所述的X射线衍射装置，其特征在于， 所述X射线衍射装置还具备：摇动机构，设置有所述索勒狭缝，使所述索勒狭缝能够以所述特定的焦点为中心来进行摇动。 6.一种利用权利要求1或2所述的索勒狭缝来测定衍射X射线的方法，其特征在于，包括： 将所述索勒狭缝设置于在试料面上被衍射的X射线将测角器圆的中心作为所述特定的焦点来通过的位置的步骤；和 以掠入射X射线衍射用的角度将X射线照射至所述试料，经由所述索勒狭缝通过检测器来检测被所述试料衍射的X射线的步骤。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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