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晶片位置示教方法及示教夹具装置
| 专利名称： | 晶片位置示教方法及示教夹具装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种即使在处理装置的横宽狭窄的情况下，也不会产生干涉 地高精度自动地示教晶片位置的方法及其外部示教夹具。本发明的晶片搬运 装置的晶片位置示教方法，在收纳容器与处理装置之间或处理装置相互之间 进行半导体晶片搬运的机器人上，在收纳容器或处理装置的设置半导体晶片 的位置设置示教夹具(16)，通过以设置于机器人晶片把持部的传感器检测出 示教夹具，向机器人示教半导体晶片的位置，在以传感器传感检测示教夹具 (16)之前，将设置于处理装置的前面外壁的外部示教夹具(17)用传感器 通过传感检测进行 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社安川电机 |
| 发明人： | 足立胜;川边满德 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-06-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680025657.7 |
| 公开号： | CN101223010 |
| 代理机构： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 分类号： | B25J9/22(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本福冈县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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