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原文传递 输送车、制造装置、及输送系统
专利名称: 输送车、制造装置、及输送系统
摘要: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后 的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部 (13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体 侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。 这样,可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统 中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
专利类型: 发明专利
申请人: 三菱电机株式会社;村田机械株式会社
发明人: 石原浩之;清水孝雄;中尾敬史;田原良祐;竹内秀年
专利状态: 有效
申请日期: 2003-06-27T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200810092137.9
公开号: CN101271836
代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人: 何腾云
分类号: H01L21/00(2006.01)I
申请人地址: 日本东京
所属类别: 发明专利
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