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原文传递输送车、制造装置、及输送系统

专利名称：	输送车、制造装置、及输送系统
摘要：	输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部 (13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样，可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
专利类型：	发明专利
申请人：	三菱电机株式会社;村田机械株式会社
发明人：	石原浩之;清水孝雄;中尾敬史;田原良祐;竹内秀年
专利状态：	有效
申请日期：	2003-06-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810092137.9
公开号：	CN101271836
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	何腾云
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利