详情

原文传递半导体基板用存储装置

专利名称：	半导体基板用存储装置
摘要：	提供一种既可控制设备的规模、又可均匀地引导气流至基板架之间的半导体基板用存储装置。存储装置(100)内的空间由侧板(104)、 (105)、顶棚板(103)以及地面(202)所限定。存储装置(100) 内设置了装载基板的容器(120)的多层基板架(111)的基板架装置 (110)。送风装置(102)相对于基板架装置(110)地设置于侧板(104)。在侧板(104)与基板架装置(110)之间并未设置妨碍气流的部件等，从而得以确保沿着自送风装置(102)至基板架(111)彼此所包夹的空间
专利类型：	发明专利
申请人：	日本亚仕帝科技株式会社
发明人：	前滝進;伊藤浩士
专利状态：	有效
申请日期：	2008-03-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810082741.3
公开号：	CN101276772
代理机构：	北京泛诚知识产权代理有限公司
代理人：	杨本良;文琦
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本三重
所属类别：	发明专利