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一种半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法
| 专利名称： | 一种半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法。监视装置包括：发光装置、偏光片、相位延迟器、PCB基板、受光装置和控制部，发光装置、偏光片、相位延迟器正向依次配置，透过偏光片的光线偏光透过相位延迟器而投射到检查对象PCB基板，PCB基板位于相位延迟器的前方，对入射的圆偏光或椭圆偏光光线进行反射，PCB基板反射后逆向行进的反射光重新依次经过相位延迟器和偏光片，位于偏光片后方的受光装置对反射光进行聚光并变换成电信号，控制部判断在PCB基板表面是否附着有膜。它能够解决以往目视或利用无偏光影像分析的确认膜剥离与否的问题，准确而迅速地自动判断膜的剥离与否或膜一部分是否残余。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 韩国;KR |
| 申请人： | 考姆爱斯株式会社 |
| 发明人： | 黄善伍 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-10T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811256899.8 |
| 公开号： | CN110554004A |
| 代理机构： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 孙营营 |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 韩国忠清北道清州市兴德区公团路98号街77 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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