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半导体基板保存库、保存法及用它的半导体基板制造方法
| 专利名称： | 半导体基板保存库、保存法及用它的半导体基板制造方法 |
| 摘要： | 一种半导体基板保存库、保存方法及用它的半导体基板的制造方法， 是在不使收纳容器的构造复杂的情况下在清洁的环境下保存半导体基板实 现简便低成本高信赖性的保存库、保管方法及用它的半导体装置的制造方 法。保存库(104)，包括空洞部(107)和通道部(120)。将通道部(120)的通道 部门(106)与收纳容器(101)的盖体(102)的面相对紧密连接后，通过将盖体 (102)从收纳容器(101)揭下，可以不使外界气体进入收纳容器(101)使空洞 部(107)与收纳容器(101)连通。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 松下电器产业株式会社 |
| 发明人： | 横井宏和;青木则茂;宫田毅;小仓毅勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-06-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510076482.X |
| 公开号： | CN1715152 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 汪惠民 |
| 分类号： | B65G1/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本大阪府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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