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除电搬送装置及搬送时的除电方法
| 专利名称： | 除电搬送装置及搬送时的除电方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种对经过前工序的带电体进行有效的除电并搬送的除电搬 送装置及搬送时的除电方法。除电搬送装置包括保持带电的玻璃基板(M) 并搬送的搬送机器人(2)、和根据空气离子中和玻璃基板(M)上带的电来 除电的软X射线照射器(3)。在保持玻璃基板(M)的搬送机器人(2)的 臂(24)上，配设被设定为接地电位的金属丝网板(4)，以与玻璃基板(M) 隔开规定的距离对置，配设软X射线照射器(3)，以至少在玻璃基板(M) 与金属丝网板(4)之间形成空气离子。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社未来视野 |
| 发明人： | 稻叶仁 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-04-24T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810095707.X |
| 公开号： | CN101299899 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 杨 谦;胡建新 |
| 分类号： | H05F3/02(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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