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原文传递一种取送硅片的机械手

专利名称：	一种取送硅片的机械手
摘要：	本发明涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括一连接在支架上的垂直驱动电机，垂直驱动电机通过第二传动装置连接一沿两垂直光杠上下移动的升降架；旋转驱动机构包括一连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过第三传动装置连接一主臂，主臂顶部穿出支架顶部连接一手爪，手爪上表面设置有吸盘，在主臂的中心和手爪
专利类型：	发明专利
申请人：	陈百捷
发明人：	陈百捷;徐伟新;姚广军
专利状态：	有效
申请日期：	2008-10-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810224701.8
公开号：	CN101383313
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	徐宁
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	100176北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102
所属类别：	发明专利