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一种基于肖特基势垒的气体计量计
| 专利名称： | 一种基于肖特基势垒的气体计量计 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于肖特基势垒的气体计量计,包括气体流通的通道,通道的外围设置有N极磁铁，S极磁铁，N极磁铁与S极磁铁对应设置，通道的内部设置有肖特基结，肖特基结的外围包裹有绝缘层，并且该肖特基结的两极通过导线电连接；通道的进气端为绝缘口；该基于肖特基势垒的气体计量计，扩展了肖特基结的功能，通过给待测气体携带电子，再由磁场改变电子的流动方向，使得通道内形成与肖特基结内部电场相反或者相同的电场，从而使得肖特基结的肖特基势垒发生变化，通过外接电源检测肖特基势垒的变化，来反应气体的流速，以便计算气体的流量，该基于肖特基势垒的气体计量计不仅结构简单，而且扩展了肖特基结的功能，使用方便，操作简单。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 发明人： | 不公告发明人 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-17T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821674547.X |
| 公开号： | CN208872697U |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 528458 广东省中山市五桂山商业街118号4楼501房 |
| 主权项： | 1.一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:包括气体流通的通道（1）, 所述通道（1）的外围设置有N极磁铁（2），S极磁铁（3），所述N极磁铁（2）与S极磁铁（3）对应设置，所述通道（1）的内部设置有肖特基结（4），所述肖特基结（4）的外围包裹有绝缘层（7），并且该肖特基结（4）的两极通过导线（5）电连接；所述通道（1）的进气端为绝缘口（6）。 2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:所述通道（1）的形状为长方体。 3.如权利要求2所述的一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:所述N极磁铁（2）、S极磁铁（3）分别设置于通道（1）的上下两侧。 4.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:所述肖特基结（4）包括金属层（8），以及与金属层（8）接触的N型半导体（9）；并且金属层（8）、N型半导体（9）分别与导线（5）电连接。 5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:所述肖特基结（4）内部设置有孔洞（10）。 6.如权利要求5所述的一种基于肖特基势垒的气体计量计, 其特征在于:所述孔洞（10）的表面覆盖有绝缘层（7）。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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