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一种基于肖特基势垒的气体光检测器
| 专利名称： | 一种基于肖特基势垒的气体光检测器 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于肖特基势垒的气体光检测器，包括弧面在下方的半圆形透光棱镜，半圆形透光棱镜的平面上方设置有气体感应层，气体感应层的上方设置有N型半导体层，N型半导体层的上方设置有金属层，金属层与外接电源的正极电连接，N型半导体层外接电源的负极电连接；基于肖特基势垒的气体光检测器，通过在检测器中设置气体感应层，由入射光入射气体感应层从而引起肖特基结的肖特基势垒发生变化，不同气体填充在气体感应层，会引起肖特基势垒不同的变化，在已知入射光特性的情况，根据肖特基势垒的变化，判断待测气体的特性，该基于肖特基势垒的气体光检测器，结构简单，实现了基于肖特基势垒检测器的多用能应用。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 发明人： | 不公告发明人 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-17T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821674556.9 |
| 公开号： | CN208872667U |
| 分类号： | G01N21/63(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 528458 广东省中山市五桂山商业街118号4楼501房 |
| 主权项： | 1.一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：包括弧面在下方的半圆形透光棱镜（1），所述半圆形透光棱镜（1）的平面上方设置有气体感应层（2），所述气体感应层（2）的上方设置有N型半导体层（3），所述N型半导体层（3）的上方设置有金属层（4），所述金属层（4）与外接电源的正极电连接，所述N型半导体层（3）外接电源的负极电连接。 2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）为中部设置有充气腔（5）的金属层。 3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）为设置有不规则孔洞的金属层。 4.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）中孔洞是周期排布。 5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）的厚度为10nm～30nm。 6.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述气体感应层（2）的厚度为20nm。 7.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的气体光检测器，其特征在于：所述N型半导体层（3）为氧化锌制成。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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