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一种基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法
| 专利名称： | 一种基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法，利用SP1颗粒检测仪，通过对颗粒仪界面参数的设置，实现对COP缺陷的检测。本发明所述的基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法更为准确，可以减小误判，更好的识别COP缺陷。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 发明人： | 杨春雪;刘琦;谢艳;武卫;孙晨光 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-31T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910104676.8 |
| 公开号： | CN109827891A |
| 代理机构： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王耀云 |
| 分类号： | G01N15/10(2006.01);G;G01;G01N;G01N15 |
| 申请人地址： | 300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区(环外)海泰东路12号内 |
| 主权项： | 1.一种基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法，其特征在于：利用SP1颗粒检测仪，通过对颗粒仪界面参数的设置，实现对COP缺陷的检测。 2.根据权利要求1所述的基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法，其特征在于，对SP1颗粒仪的参数设置步骤如下： S1、首先依照顺序依次选择进入Recipe、Classification、Point Defect Analysis； S2、进入Point Defect Analysis界面后，选择LPD-N，并且选中Enable； S3、将Below Ratio参数更改为0或0.01；Above Ratio参数更改为1.2-1.3之间的数字，USE栏中选择Alg3； S4、Size栏中选择Range,W参数修改为0,0.3；N参数修改为0,0.3。 3.根据权利要求2所述的基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法，其特征在于：所述步骤S3中，Above Ratio参数选择1.25。 4.根据权利要求1-3任一所述的基于SP1颗粒测试仪的COP检测方法，其特征在于：根据设置好的SP1颗粒仪的参数，对硅片进行检测，最后检测的LPDN的个数就是COP缺陷的个数。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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