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原文传递一种激光器镀膜膜层黏附性测试装置及方法

专利名称：	一种激光器镀膜膜层黏附性测试装置及方法
摘要：	一种激光器镀膜膜层黏附性测试装置及方法，底座、移动支座、夹紧机构、支架、电子显微镜、吸嘴以及吸嘴高度调节机构，将已镀膜的激光器通过夹紧固定装置夹紧固定，并通过角度调节装置调节电子显微镜的角度，利用移动支座调节巴条的位置，使其上端的镀膜层位于吸嘴的正下方。最终通过吸嘴高度调节机构调节吸嘴的位置，使吸嘴内部吸气孔的底部与巴条上端的镀膜层相接触。通过压缩空气流量控制器产生的吸附力，通过吸嘴对镀膜层进行吸附。通过吸嘴高度调节机构将吸嘴向上移动，通过显示器观察镀膜层是否脱离。相对于传统的胶带法测试，本激光器镀膜膜层黏附性测试装置不会对镀膜层产生污染，测量值准确且一致。有效提高了测量效率和测量精度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东华光光电子股份有限公司
发明人：	周莉;汤庆敏;刘存志;任忠祥;徐现刚;肖成峰;郑兆河
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-04T00:00:00+0800
申请号：	CN201711190397.5
公开号：	CN109839351A
分类号：	G01N19/04(2006.01);G;G01;G01N;G01N19
申请人地址：	250101 山东省济南市高新区天辰大街1835号
主权项：	1.一种激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于，包括：底座（1）；移动支座，安装于底座（1）上；夹紧机构，用于夹紧固定巴条（5），其设置于移动支座上，移动支座带动夹紧机构沿前后方向或左右方向水平移动；支架（10），设置于底座（1）上；电子显微镜（14），通过角度调节装置与支架（10）连接固定，角度调节装置调节电子显微镜（14）的拍摄角度，显示器（13）连接于电子显微镜（14）；吸嘴（9），竖直设置于巴条（5）上方，吸嘴（9）通过吸管（6）连接于压缩空气流量控制器（8）；以及吸嘴高度调节机构，其驱动吸嘴（9）上下移动，使吸嘴（9）内部吸气孔（16）的底部与巴条（5）上端的镀膜层相接触。 2.根据权利要求1所述的激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于：所述移动支座为显微镜载物台（2），所述显微镜载物台（2）上设置有驱动显微镜载物台（2）前后方向或左右方向水平移动的方向调节旋钮。 3.根据权利要求1所述的激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于：所述夹紧机构包括固定于移动支座上的固定块（41）、通过螺钉（43）安装于固定块（41）一侧的活动块（42），所述固定块（41）与活动块（42）之间形成夹槽（44），所述巴条（5）位于夹槽（44）中。 4.根据权利要求1所述的激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于：所述角度调节装置包括通过销轴（11）铰接安装于支架（10）顶端的摆杆（12），所述电子显微镜（14）安装于摆杆（12）上。 5.根据权利要求1所述的激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于：所述吸嘴高度调节机构包括竖直旋合于底座（1）上的调节螺钉（7），所述吸管（6）通过转套与调节螺钉（7）转动连接。 6.根据权利要求1至5中任意一项所述的激光器镀膜膜层黏附性测试装置，其特征在于：还包括设置于吸嘴（9）底部的定位凸块（15），当吸嘴（9）内部吸气孔（16）的底部与巴条（5）上端相接触时，定位凸块（15）与巴条（5）的侧端相接触。 7.一种激光器镀膜膜层黏附性测试方法，其特征在于，包括如下步骤： a)将已镀膜的激光器巴条（5）通过权利要求1中的夹紧机构夹紧； b)通过角度调节装置调节电子显微镜（14）的拍摄角度，直至显示器（13）上显示清晰的镀膜层处的图像； c)通过移动支座调节巴条（5）的位置，使其上端的镀膜层位于吸嘴（9）正下方； d)通过吸嘴高度调节机构，使吸嘴（9）内部吸气孔（16）的底部与巴条（5）上端的镀膜层相接触; e) 开启压缩空气流量控制器，调节真空度到设定值后关闭； f) 通过吸嘴高度调节机构，使吸嘴（9）上升，通显示器（13）观察巴条（5）上的镀膜层是否脱落； g)如果镀膜层没有脱落，重复步骤d)-步骤f），并提高真空度设定值，直至镀膜层脱落。
所属类别：	发明专利