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原文传递加工脆性材料的方法

专利名称：	加工脆性材料的方法
摘要：	本发明涉及切削(例如微铣削)脆性材料的方法。在切削步骤过程中，脆性材料上存在保护性延性层。相对于先前的切削(例如微铣削)技术，该方法提供了加工轮廓的改进的边缘质量。本发明还涉及所述方法的产品。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	英国;GB
申请人：	泰恩河畔纽卡斯尔大学
发明人：	宗子杰;霍德鸿;帕特里克·德格纳尔;安东尼·奥尼尔
专利状态：	有效
申请日期：	2017-10-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201780062090.9
公开号：	CN109863006A
代理机构：	北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人：	李慧慧;郑霞
分类号：	B28D5/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	英国纽卡斯尔
主权项：	1.一种在脆性材料中切削通道的方法，所述方法包括：提供复合材料，其中在脆性材料的表面上布置一层延性材料；和穿过所述一层延性材料切削通道，去除布置在所述脆性材料的要切削的部分上的所述延性材料的部分，并切削到所述脆性材料中，以提供加工的复合物。 2.根据权利要求1所述的方法，其中所述一层延性材料与所述脆性材料的所述表面直接接触。 3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中提供所述复合物的方法步骤包括将一层延性材料施加到脆性材料的表面以提供所述复合材料。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述方法还包括从所述加工的复合物中去除所述延性材料以提供所述脆性材料的加工样品的步骤。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述通道在平行于所述脆性材料的所述表面的平面中包括至少一个曲线和/或角度。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述通道在平行于所述脆性材料的所述表面的平面中包括多个曲线和/或角度。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述延性材料选自铝、铬、铜和其合金。 8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述延性材料是丙烯酸聚合物。 9.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述延性材料是环氧树脂。 10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中所述脆性材料为50μm至100mm厚。 11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中切削到所述脆性材料中的所述通道为5μm至500μm深。 12.根据权利要求11所述的方法，其中切削到所述脆性材料中的所述通道为100μm到200μm深。 13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其中切削到所述脆性材料中的所述通道为50μm到1000μm宽。 14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其中所述一层延性材料为25μm至500μm厚。 15.根据权利要求1至14中任一项所述的方法，其中所述脆性材料选自硅、锗、蓝宝石和氮化镓。 16.根据权利要求15所述的方法，其中所述脆性材料是单晶硅。 17.根据权利要求16所述的方法，其中所述通道沿着晶体的<100>方向被切削。 18.根据权利要求1至17中任一项所述的方法，其中所述方法是在脆性材料中铣削通道的方法，并且所述方法包括穿过所述一层延性材料铣削通道并铣削到所述脆性材料中以提供加工的复合物。 19.一种加工产品，其通过权利要求1至17中任一项所述的方法获得或者能够通过权利要求1至17中任一项所述的方法获得。
所属类别：	发明专利