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原文传递碳化钽的评价方法

专利名称：	碳化钽的评价方法
摘要：	一种碳化钽的评价方法，是根据色度来对碳化钽的碳化率进行评价的碳化钽的评价方法，作为一例，使用分光光度计或照相机来测定碳化钽的颜色，基于由L＊a＊b＊表色系而数值化了的该碳化钽的色度，对该碳化钽的碳化率进行评价。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	昭和电工株式会社
发明人：	野口骏介;大矢信之
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201780065450.0
公开号：	CN109863387A
代理机构：	北京市中咨律师事务所
代理人：	王潇悦;段承恩
分类号：	G01N21/27(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种碳化钽的评价方法，根据色度对碳化率进行评价。 2.根据权利要求1所述的碳化钽的评价方法，通过L＊a＊b＊表色系来测量所述色度。 3.根据权利要求1所述的碳化钽的评价方法，根据使用分光光度计或照相机拍摄到的拍摄图像来求出所述色度。 4.根据权利要求1～3的任一项所述的碳化钽的评价方法，所述碳化钽是选自由碳化钽构成的构件和表面涂敷了碳化钽的构件中的构件。 5.根据权利要求4所述的碳化钽的评价方法，所述构件是在SiC单晶生长用装置中使用的构件。
所属类别：	发明专利