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一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法
| 专利名称： | 一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法。所述评价方法包括如下步骤：取高纯碳化硅粉料，采用测色装置测量其明度值L*及色度值a*和b*；将所得L*值、a*值和b*值代入计算品质因数Δ。本发明基于分光测色原理，并根据高纯碳化硅粉料中各种杂质所导致的碳化硅粉料表观颜色的差异，创造性地构建了品质因数的计算公式，综合反映了碳化硅粉料中N、Al和B等杂质的含量以及碳包裹体的含量，并能半定量的分析碳化硅粉料中的氮含量的高低。品质因数越大，表明碳化硅粉料的品质越好，a*值越趋近0，表明氮含量越低。采用本发明提供的品质因数和测量所得a*值可以对高纯碳化硅粉料的品质与氮含量进行快速有效的评估分级。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 河北;13 |
| 申请人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 发明人： | 王建江;王毅;高卫;李召永;赵丽霞;吴会旺;陈秉克 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-07-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-15T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910694877.8 |
| 公开号： | CN110455725A |
| 代理机构： | 石家庄国为知识产权事务所 |
| 代理人： | 李坤 |
| 分类号： | G01N21/31(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 050200河北省石家庄市鹿泉经济开发区昌盛大街21号 |
| 主权项： | 1.一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1，取高纯碳化硅粉料，采用测色装置测量其明度值L*及色度值a*和b*； 步骤2，将所得L*值、a*值和b*值代入以下公式计算品质因数Δ，Δ越大说明碳化硅粉料的品质越好； 其中，L*的取值范围为0～100，a*的取值范围为-128～0，b*的取值范围为0～127。 2.如权利要求1所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述测色装置为测色色差计、分光测色仪或积分球色差计。 3.如权利要求2所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述测色装置为3nh-ys3010型分光测色仪。 4.如权利要求3所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述3nh-ys3010型分光测色仪的测试参数为：观察角度为1-12°，测量口径为1-10mm。 5.如权利要求3所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述测色装置的测色光源为D65、D50、A光源、C光源、D55或D75。 6.如权利要求1-5任一项所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述高纯碳化硅粉料的测试粒径为75～4000μm。 7.如权利要求6所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法，其特征在于，所述高纯碳化硅粉料的测试粒径为180～2500μm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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