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原文传递一种光刻机的取料装置

专利名称：	一种光刻机的取料装置
摘要：	本实用新型涉及一种光刻机的取料装置，一种光刻机的取料装置，包括密封箱，密封箱设有启闭门，密封箱内设有光刻台，还包括固定在密封箱并位于光刻台一侧的气缸和位于光刻台另一侧的收集箱，气缸的活塞杆的端部设有推块，推块的下端面与光刻台表面齐平，收集箱靠近光刻台的一侧开设有供芯片进入的进料口。本实用新型这样设置的有益效果是，使用推块将光刻台上的芯片推到收集集箱内进行放置，当收集箱内的芯片到达预设量的时候，再打开启闭门将收集箱取出，避免每完成一片芯片的制作便打开一次启闭门取出芯片，再将待曝光芯片放到光刻台上，减少了操作过程中取芯片的步骤，提高了工作效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市致行科技有限公司
发明人：	黄祖仪;张宇;杨维
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201821556786.5
公开号：	CN208964039U
分类号：	B65G47/82(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	518057 广东省深圳市南山区粤海街道深圳市南山区高新中一道8号万和医药园4楼
主权项：	1.一种光刻机的取料装置，包括密封箱(1)，所述密封箱(1)设有启闭门(11)，所述密封箱(1)内设有光刻台(2)，其特征在于：还包括固定在所述密封箱(1)并位于所述光刻台(2)一侧的气缸(3)和位于光刻台(2)另一侧的收集箱(4)，所述气缸(3)的活塞杆的端部设有推块(9)，所述推块(9)的下端面与所述光刻台(2)表面齐平，所述收集箱(4)靠近所述光刻台(2)的一侧开设有供芯片(12)进入的进料口(5)。 2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述密封箱(1)的底部设置有滑轨(6)，所述滑轨(6)朝向启闭门(11)设置，所述收集箱(4)滑动连接于所述滑轨(6)。 3.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述密封箱(1)上设有螺钉(7)，所述螺钉(7)抵接在所述收集箱(4)靠近所述启闭启闭门(11)的一侧。 4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述收集箱(4)的内侧壁上覆盖有海绵(15)。 5.根据权利要求4所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述收集箱(4)靠近启闭门(11)方向的侧面上设有握把(8)。 6.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述推块(9)靠近所述光刻台(2)的一端为弧形设置。 7.根据权利要求6所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述推块(9)的表面设有防护层(10)。
所属类别：	实用新型