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原文传递光刻机的送料装置

专利名称：	光刻机的送料装置
摘要：	本实用新型涉及光刻机技术领域，针对操作麻烦的问题，提供了一种光刻机的送料装置，该技术方案如下：包括设于保护柜内的储料组件、传输组件以及收集组件，储料组件包括竖直设置的第一传送带，第一传送带上均匀凸出有若干第一支撑条，第一传送带上设有驱动第一传送带的第一电机，传输组件包括水平设置的第三传送带，第三传送带置于第一传送带的下方，第三传送带上设有驱动第三传送带的第三电机，收集组件包括收集箱，收集箱一端开口，收集箱的开口正对第三传送带靠近光刻机的一端。通过在第一传送带以及收集箱的设置，使得进料与取料均可批量操作，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门进行进料和取料的操作，操作简便。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市致行科技有限公司
发明人：	许乃聪;蔡景鸿;邱望洪
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201821555008.4
公开号：	CN208964013U
分类号：	B65G47/52(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	518057 广东省深圳市南山区粤海街道深圳市南山区高新中一道8号万和医药园4楼
主权项：	1.一种光刻机的送料装置，其特征是：包括设于保护柜(2)内的储料组件(3)、传输组件(4)以及收集组件(5)，所述储料组件(3)包括竖直设置的第一传送带(31)，所述第一传送带(31)上均匀凸出有若干第一支撑条(311)，所述第一传送带(31)上设有驱动第一传送带(31)的第一电机(33)，所述传输组件(4)包括水平设置的第三传送带(41)，所述第三传送带(41)置于第一传送带(31)的下方，所述第三传送带(41)上设有驱动第三传送带(41)的第三电机(42)，所述收集组件(5)包括收集箱(51)，所述收集箱(51)一端开口，所述收集箱(51)的开口正对第三传送带(41)靠近光刻机(61)一端的端部。 2.根据权利要求1所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述储料组件(3)还包括竖直设置的第二传送带(32)，所述第二传送带(32)与第一传送带(31)正对，所述第二传送带(32)与第一传送带(31)相向传动，所述第二传送带(32)上均匀凸出有若干第二支撑条(321)，所述第二支撑条(321)与第一支撑条(311)一一对应，所述第二传送带(32)上设有驱动第二传送带(32)的第二电机(34)。 3.根据权利要求2所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第一传送带(31)与第二传送带(32)之间的间距可调节。 4.根据权利要求3所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第三传送带(41)靠近光刻机(61)紫外光源一侧的皮带远离光刻机(61)的一侧设有支撑板(46)，所述支撑板(46)水平设置，所述支撑板(46)置于光刻机(61)紫外光源的正下方，所述支撑板(46)上还设有驱动支撑板(46)沿竖直方向朝向或远离光刻机(61)运动的气缸(43)。 5.根据权利要求4所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第二传送带上固定有移动板(37)，所述移动板(37)上贯穿有限制移动板(37)转动的限位杆(35)，所述移动板(37)上贯穿有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有水平设置的螺杆(38)，所述螺杆(38)远离移动板(37)的一端固定有螺母(39)，所述螺母(39)转动连接于保护柜(2)的侧壁上。 6.根据权利要求4所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述支撑板(46)上贯穿有限定支撑板(46)沿竖直方向运动的定位杆(45)。 7.根据权利要求1所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述收集箱(51)靠近第三传送带(41)一侧的侧壁顶部设有倾斜的导向面(52)。 8.根据权利要求7所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述收集箱(51)的内壁与导向面(52)上均覆盖有气囊(53)。
所属类别：	实用新型