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一种提高激光诱导击穿光谱信号稳定性的装置
| 专利名称： | 一种提高激光诱导击穿光谱信号稳定性的装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高激光诱导击穿光谱信号稳定性的装置，涉及激光光谱分析装置技术领域，包括：腔室，所述腔室正上方安装石英窗Ⅰ，所述石英窗Ⅰ正上方设有可移动的聚焦透镜，所述聚焦透镜正上方设有反射平面镜，所述反射平面镜与线性促动器固定连接，所述线性促动器与计算机电线连接。本实用新型中腔室内的样品只是一维旋转，而在腔室外设计了移动溅射激光的装置，降低了腔室内靶材的移动维度，保证了溅射激光每次打在靶材不同的位置，提高了信号的稳定性，且简单易操作。腔室装有惰性气体进气管和抽真空装置，既可实现在高压环境下，也可实现在真空环境下的测量。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 咸阳师范学院 |
| 发明人： | 向前兰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-06-14T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821696450.9 |
| 公开号： | CN208984535U |
| 代理机构： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 李振瑞 |
| 分类号： | G01N21/71(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 712000 陕西省咸阳市文林路43号 |
| 主权项： | 1.一种提高激光诱导击穿光谱信号稳定性的装置，其特征在于，包括：腔室(1)和激光器(2)，所述腔室(1)正上方安装石英窗Ⅰ(6)，所述石英窗Ⅰ(6)正上方设有可移动的聚焦透镜(5)，所述聚焦透镜(5)正上方设有反射平面镜(4)，所述反射平面镜(4)与线性促动器(3)固定连接，所述线性促动器(3)与计算机(22)电线连接； 所述腔室(1)的一侧侧壁上设有进气管(7)，所述腔室(1)底部中间位置竖直安装步进电机(9)，所述步进电机(9)的转动部分上固定连接靶材(8)，所述靶材(8)的中轴线、所述石英窗Ⅰ(6)的中轴线和所述聚焦透镜(5)的中轴线均在同一条竖直线上，所述激光器(2)发射的激光经过所述反射平面镜(4)反射，依次穿过所述聚焦透镜(5)和所述石英窗Ⅰ(6)后打到所述靶材(8)上； 所述腔室(1)底部设置插板阀(10)，所述插板阀(10)下方通过法兰(11)固定连接分子泵(12)，所述分子泵(12)通过管道连接热偶规(13)，所述热偶规(13)通过三通管道的一个管道与角阀Ⅰ(14)和机械泵(15)相连，另一个管道与波纹管(19)和角阀Ⅱ(18)相连，所述角阀Ⅱ(18)通过管道连通所述腔室(1)的内部； 所述腔室(1)另一侧侧壁上安装电离规(17)和石英窗Ⅱ(23)，所述电离规(17)位于所述石英窗Ⅱ(23)上方，所述石英窗Ⅱ(23)外侧正对方向依次设置柱形会聚透镜(16)和光谱仪(20)，所述光谱仪(20)和ICCD(21)通过电线连接，并均与所述计算机(22)通过电线相连，所述石英窗Ⅱ(23)的中轴线、所述柱形会聚透镜(16)的中轴线和所述光谱仪(20)的狭缝的中轴线均在同一条水平线上。 2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述机械泵(15)与大气接触端设置有电磁阀。 3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光器(2)和所述光谱仪(20)的时序均由数字延时器控制。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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