详情

原文传递一种聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器及制作工艺

专利名称：	一种聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器及制作工艺
摘要：	一种聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器及制作工艺，1）将固定在凹型玻璃板上微纳光纤耦合器（1）和镀膜微球谐振腔（2）分别固定三维位移台上；2）将微纳光纤两端分别连接宽带光源和光谱仪，观察光谱并调整微球谐振腔（2）的位置，将微纳光纤用紫外胶固定在凹型有机玻璃板上，通过控制微纳光纤的位置将其束腰区域调整在凹型有机玻璃板的中央位置，将聚六甲基双胍溶液滴在光纤微球形成微球谐振腔（2）；3）然后将步骤2）制成的结构固定在由3D打印的长方体带盖的有机玻璃板气室内，盖子将气室封住；4）将进气管与出气管分别连接气室的两个气孔封装气体浓度测试。克服光学微腔无法对二氧化碳气体浓度进行直接检测的缺点，结构简单、高灵敏度并能够长期工作于室温环境。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西北大学
发明人：	王若晖;马雯雯;乔学光;邢稼先
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201910039730.5
公开号：	CN109900641A
代理机构：	西安西达专利代理有限责任公司
代理人：	刘华
分类号：	G01N21/17(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	710069 陕西省西安市碑林区太白北路229号
主权项：	1.一种聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器，包括凹型有机玻璃板（3），其特征在于，微纳光纤（1）通过UV胶固定在凹型有机玻璃板（3），微纳光纤（1）束腰区域位于中央位置，微球谐振腔（2）表面镀一层聚六甲基双胍涂层（4）固定在凹型有机玻璃板（3）上；微球谐振腔（2）接触微纳光纤（1）束腰处。 2.一种基聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤： 1）将固定在凹型玻璃板上微纳光纤（1）和微球谐振腔（2）分别固定三维位移台上； 2）将微纳光纤两端分别连接宽带光源和光谱仪，观察光谱并调整微球谐振腔（2）的位置，使接触微纳光纤（1）束腰处，所述的微纳光纤的束腰直径约2μm，将微纳光纤用紫外胶固定在凹型有机玻璃板上，通过控制微纳光纤的位置将其束腰处调整在凹型有机玻璃板的中央位置，将聚六甲基双胍溶液滴在光纤微球形成微球谐振腔（2）； 3）然后将步骤2）制成的结构固定在由3D打印的长方体带盖的有机玻璃板气室内，盖子将气室封住； 4）将进气管与出气管分别连接气室的两个气孔，制成基于聚六甲基双胍薄膜的光纤微球谐振腔CO2传感器。 3.根据权利要求2所述的一种基聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器的制作工艺，其特征在于，所述的微纳光纤由标准单模光纤经火焰拉锥制成，单模光纤经熔接机放电制成的微球谐振腔和聚六甲基双胍气敏薄膜。 4.根据权利要求2所述的一种基聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器的制作工艺，其特征在于，所述的微球谐振腔是将端面切平的商用单模光纤（SM-28）经熔接机多次放电后得到直径约170μm的微球。 5.根据权利要求2所述的一种基聚六甲基双胍薄膜包裹微球谐振腔CO2传感器的制作工艺，其特征在于，所述的聚六甲基双胍溶液经由旋转涂覆制备聚六甲基双胍气敏薄膜，聚六甲基双胍溶液是由聚六甲基双胍粉末与去离子水，经超声清洗机加热至40℃超声30min后配置成30%的溶液，涂覆聚六甲基双胍的微球是将聚六甲基双胍溶液滴在固定在台式匀胶机的光纤微球上，薄膜的厚度是由台式匀胶的转速控制。
所属类别：	发明专利