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一种foup盒自动解锁装置及foup盒
| 专利名称： | 一种foup盒自动解锁装置及foup盒 |
| 摘要： | 本发明提供了一种foup盒自动解锁装置和一种foup盒。所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承。本发明提供的foup盒自动解锁装置的结构合理，解锁出错率低，可靠性好、成本低。可实现foup盒自动解锁，而且降低了出错率低，可靠性好，保证硅片传输效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 发明人： | 赵治国;何书龙;于大元;华正雨;陈睿;周昊 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2017-12-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-05T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201711455331.4 |
| 公开号： | CN109969593A |
| 代理机构： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 许宗富 |
| 分类号： | B65D55/14(2006.01);B;B65;B65D;B65D55 |
| 申请人地址： | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号 |
| 主权项： | 1.一种foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。 2.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述气缸组件的尾部通过销轴与所述支撑板铰接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端固定连接。 3.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座通过销轴铰接。 4.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述轴承安装座固定在所述支撑板上。 5.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述钥匙支撑基轴与支撑板通过螺钉固定。 6.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述钥匙安装座通过所述转动轴承与所述钥匙支撑基轴可转动地连接。 7.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置由两组foup盒自动解锁机构组成，这两组foup盒自动解锁机构呈中心对称分布。 8.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述气缸组件包括气缸伸缩杆，所述解锁连接件与所述气缸伸缩杆的连接可调节，从而可调节所述气缸伸缩杆的长短。 9.一种foup盒，其特征在于，所述foup盒的内部设置有如权利要求1-8任一项所述的foup盒自动解锁装置。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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