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原文传递一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法

专利名称：	一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法
摘要：	本发明提供了一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法。本发明提供的foup盒用锁紧机构包括：滑动支撑板、滑块、滑道、固定支撑板、滑动气缸、气缸连接板、伸缩气缸和锁紧夹块；所述伸缩气缸固定在所述固定支撑板上，所述伸缩气缸上伸出有伸缩气缸伸缩杆，所述锁紧夹块固定在所述伸缩气缸伸缩杆上；所述滑道固定安装在所述固定支撑板的上方，所述滑块安装在所述滑道上，所述滑块能在所述滑道上滑动；所述滑动支撑板固定安装在所述滑块上，所述滑动支撑板用于放置foup盒。本发明可实现foup盒的完全固定，优选地，可以对foup盒硅片进行侧面操作，解除了foup盒操作位置的限制，而且可靠性强，结构合理，调节方便。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
发明人：	华正雨;赵治国;李学威;何书龙;陈睿;李国彬
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201711455332.9
公开号：	CN109969594A
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：	许宗富
分类号：	B65D55/14(2006.01);B;B65;B65D;B65D55
申请人地址：	110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
主权项：	1.一种foup盒用锁紧机构，其特征在于，包括：滑动支撑板、滑块、滑道、固定支撑板、滑动气缸、气缸连接板、伸缩气缸和锁紧夹块；所述伸缩气缸固定在所述固定支撑板上，所述伸缩气缸上伸出有伸缩气缸伸缩杆，所述锁紧夹块固定在所述伸缩气缸伸缩杆上；所述滑道固定安装在所述固定支撑板的上方，所述滑块安装在所述滑道上，所述滑块能在所述滑道上滑动；所述滑动支撑板固定安装在所述滑块上，所述滑动支撑板用于放置foup盒。 2.根据权利要求1所述的foup盒用锁紧机构，其特征在于，所述滑动气缸包括滑动伸缩杆，所述滑动伸缩杆伸出到所述滑动气缸的外部并通过所述气缸连接板与所述滑动支撑板固定连接。 3.根据权利要求1所述的foup盒用锁紧机构，其特征在于，通过滑道和滑块之间的相对滑动，带动所述滑动支撑板向foup盒所在的基板方向滑动。 4.一种foup装置，包括foup盒，所述foup盒包括foup盒的盒体，其特征在于，还包括如权利要求1-3任一项所述的foup盒用锁紧机构，所述foup盒的盒体上开设有锁紧口，所述foup盒用锁紧机构的锁紧夹块设置在所述锁紧口的正下方，所述foup盒用锁紧机构的锁紧夹块和所述锁紧口相配合实现foup盒的锁紧。 5.根据权利要求4所述的foup装置，其特征在于，所述锁紧口设置在所述foup盒的上端或下端。 6.根据权利要求4所述的foup装置，其特征在于，所述锁紧夹块和所述锁紧口的形状和大小相匹配。 7.根据权利要求4所述的foup装置，其特征在于，所述锁紧夹块压在所述foup盒的盒体的锁紧口位置，所述foup盒固定在所述foup盒用锁紧机构的滑动支撑板上，从而限制了所述foup盒在竖直方向上的移动。 8.一种foup盒的锁紧方法，其特征在于，利用权利要求1-3任一项所述的foup盒用锁紧机构对foup盒进行锁紧，所述foup盒放置在滑动支撑板上，所述foup盒的盒体上设置有锁紧口，所述锁紧夹块与所述锁紧口相配合，处于伸缩状态的伸缩气缸伸缩杆伸出至所述锁紧口的内部，所述滑动气缸的滑动伸缩杆伸出后与所述滑动支撑板通过气缸连接板固定连接，通过滑道和滑块之间的滑动，带动滑动支撑板向foup盒所在的基板方向移动，当直到foup盒与foup盒所在的基板接触后，即可实现foup盒的锁紧。
所属类别：	发明专利