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原文传递一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法

专利名称：	一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法
摘要：	本发明提供了一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法。本发明提供的foup盒内真空氮气填充系统包括2条或2条以上基板进气通道；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与基板面之间的夹角为40°‑50°；及基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。本发明解决了foup盒内空气排放不干净，氮气填充不充分，影响硅片加工等问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
发明人：	何书龙;华正雨;赵治国;边弘晔;于大元;周昊
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201711455468.X
公开号：	CN109969456A
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：	许宗富
分类号：	B65B31/02(2006.01);B;B65;B65B;B65B31
申请人地址：	110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
主权项：	1.一种foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，包括： 2条或2条以上基板进气通道，所述基板进气通道设置在foup盒所在的基板上，所述基板进气通道的一头与氮气气源相通，用于氮气的传输；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°-50°；基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。 2.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述基板进气通道用于氮气气源接入的一头还连接有氮气充气弯头。 3.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为45°。 4.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，还包括浮门封板，填充氮气时，所述foup盒的后盖打开，所述浮门封板和所述foup盒的内部形成一个密封空间；基板上固定有密封盖板，所述密封盖板与所述基板排气通道形成一个开口空间，所述开口空间位于所述密封空间的内部。 5.根据权利要求4所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述密封盖板上设有排气阀，当foup盒内的空气由基板排气通道排出后进入所述开口空间后，再由所述排气阀排到所述密封空间的外部。 6.根据根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，还包括泄压阀，所述泄压阀设置在foup盒所在的基板上，用于排出多余的氮气，保持foup盒恒压。 7.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述吹气置块与foup盒所在的基板的侧壁固定连接。 8.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述吹气置块进气孔的数量为2个，分别为第一吹气置块进气孔和第二吹气置块进气孔；所述基板进气通道的数量为2个，分别为第一基板进气通道和第二基板进气通道；所述第一吹气置块进气孔和所述第一基板进气通道相通，所述第二吹气置块进气孔和所述第二基板进气通道相通。 9.一种foup盒排空气法，其特征在于，利用权利要求1-8任一项所述的foup盒内真空氮气填充系统，包括步骤： S101、打开foup盒的后盖，通过浮门封板将foup盒的内部空间密封形成一个密封空间； S102、当氮气气源开始充气，氮气依次通过基板进气通道、吹气置块进气孔进入吹气置块； S103、进入到吹气置块内的氮气通过吹气置块的吹气置块吹气孔向foup盒的内部传输氮气，吹气置块吹气孔向foup盒的内部传输氮气的传输方向与foup盒所在的基板平面之间的夹角为40°-50°，此时，氮气以与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°-50°的方向填充入foup盒内，从而使得foup盒内的空气被挤压到基板排气通道的位置。 10.根据权利要求foup盒排空气阀，还包括步骤： S104、当所述密封空间的气压过大时，通过安装在密封盖板上的排气阀将空气排到外部；和/或，当foup盒内部气压过大时，传输进foup盒内的氮气通过泄压阀排出。
所属类别：	发明专利