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原文传递 真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
专利名称: 真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
摘要: 本发明公开了一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓,采用焊接波纹管作为伸缩套管,焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰,焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上;含有内螺纹的套筒套住焊接波纹管的上外螺纹法兰,并置于滑动轴承上;旋转两侧螺栓可以使套筒水平移动。通过本发明,可实现在真空环境下对高倍显微镜物镜进行上下、水平方向的移动,在保持真空度的前提下调节物镜焦距、移动视野位置,并且得到高物理分辨率、高成像质量的观测结果。这将为实现真空环境下高放大倍数的光学显微测量奠定基础。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 甘肃;62
申请人: 兰州大学
发明人: 王梦迪;刘聪;张兴义;周军
专利状态: 有效
申请日期: 2019-05-21T00:00:00+0800
发布日期: 2019-07-09T00:00:00+0800
申请号: CN201910424555.1
公开号: CN109991229A
代理机构: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司
代理人: 席勇
分类号: G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 730014 甘肃省兰州市城关区天水南路222号
主权项: 1.一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,其特征在于,包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓,采用焊接波纹管作为伸缩套管,包裹显微物镜;焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰,焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上;所述上外螺纹法兰在下面与物镜固定连接,滑动轴承设于真空腔体上端面上面;所述套筒内壁上部设有与上外螺纹法兰相配的内螺纹,套筒内壁上部与上外螺纹法兰螺纹连接,下端置于滑动轴承上,上外螺纹法兰套设于若干竖直导杆上可上下移动,竖直导杆下端固设于焊接波纹管下法兰上;两侧螺栓端部相对设于套筒两侧,两侧螺栓位于螺栓支架上与螺栓支架螺纹连接,旋转两侧螺栓可以使套筒水平移动。 2.根据权利要求1所述的真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,其特征在于,观察窗玻璃倾斜5°设置,避免从上方射入的光线反射回成像系统,影响成像质量。 3.根据权利要求1所述的真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,其特征在于,四根导杆限制焊接波纹管周向运动,上外螺纹法兰上设有一字型孔洞保证焊接波纹管可以上下、左右移动。
所属类别: 发明专利
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