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原文传递一种多工位硅片转移系统

专利名称：	一种多工位硅片转移系统
摘要：	本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统，包括传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构沿竖直方向运动，将硅片提起，由旋转机构驱动升降机构旋转，带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构驱动升降机构沿水平方向做往复运动，从而将硅片转移到加工工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷，实现一个转移机构配合多台加工工位，将代加工硅片分别传送至多个加工工位上，工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江中晶新材料研究有限公司
发明人：	万喜增;严云;黄笑容;郑六奎
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201821787995.0
公开号：	CN209097739U
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	韩燕燕
分类号：	B65G47/91(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号
主权项：	1.一种多工位硅片转移系统，其特征在于，包括：传送机构(1)，所述传送机构(1)为水平设置，其包括下盖板(10)、滑动组件(11)及水平驱动组件(12)，所述滑动组件(11)与所述水平驱动组件(12)平行设置，所述水平驱动组件(12)位于所述下盖板(10)上端面的中线上，所述滑动组件(11)沿所述水平驱动组件(12)的长度方向对称设置于所述下盖板(10)的两侧，所述下盖板(10)由所述水平驱动组件(12)驱动沿滑动组件(11)的长度方向往复滑动；旋转机构(2)，所述旋转机构(2)与所述下盖板(10)的下端面固定连接，其与该下盖板(10)同步滑动，且其包括旋转驱动组件(21)及悬臂组件(22)，所述旋转驱动组件(21)竖直安装于所述下盖板(10)上，所述悬臂组件(22)安装于所述旋转驱动组件(21)的旋转端部，其由该旋转驱动组件(21)驱动旋转设置；升降机构(3)，所述升降机构(3)通过所述悬臂组件(22)与所述旋转机构(2)连接，其随该悬臂组件(22)同步旋转，且其包括竖直驱动组件(31)及导向组件(32)，所述竖直驱动组件(31)与所述导向组件(32)平行设置；以及吸附机构(4)，所述吸附机构(4)包括连接板(41)及吸附组件(42)，所述吸附组件(42)通过连接板(41)安装于所述竖直驱动组件(31)的推送端，该吸附组件(42)由所述竖直驱动组件(31)驱动竖直升降吸附硅片(5)。 2.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述滑动组件(11)包括：滑轨(111)，所述滑轨(111)通过安装架(110)水平对称设置于所述下盖板(10)上端面的两侧；以及滑块(112)，若干所述滑块(112)上端面分别卡设于所述滑轨(111)上，下端面分别与所述下盖板(10)固定连接。 3.根据权利要求2所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述水平驱动组件(12)包括：水平驱动件(121)，所述水平驱动件(121)设置于所述安装架(110)延长度方向的一侧；滚珠丝杠(122)，所述滚珠丝杠(122)一端与所述水平驱动件(121)同轴设置，另一端转动设置于所述安装架(110)背离所述水平驱动件(121)的一端，所述水平驱动件(121)驱动所述滚珠丝杠(122)旋转；以及滚珠螺母(123)，所述滚珠螺母(123)套设于所述滚珠丝杠(122)上，且其与所述下盖板(10)的上端面固定连接，所述滚珠螺母(123)由所述滚珠丝杠(122)旋转带动沿所述滚珠丝杠(122)的长度方向水平往复滑动。 4.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述旋转驱动组件(21)包括：连接块(211)，所述连接块(211)固定设置于所述下盖板(10)的下端面上；安装板(212)，所述安装板(212)固定设置于所述连接块(211)的下端面上；旋转驱动件(213)，所述旋转驱动件(213)固定设置于所述安装板(212)的下端面上；以及旋转轴座(214)，所述旋转轴座(214)固定设置于所述旋转驱动件(213)的底部，其由所述旋转驱动件(213)驱动旋转。 5.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述悬臂组件(22)包括：连接法兰(221)，所述连接法兰(221)与所述旋转驱动组件(21)的底部同轴设置，其由所述旋转驱动组件(21)带动旋转；以及悬臂(222)，所述悬臂(222)为水平设置，其一端与所述连接法兰(221)的底部固定连接，另一端悬空设置。 6.根据权利要求5所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述竖直驱动组件(31)包括：安装座(311)，所述安装座(311)竖直设置于所述悬臂(222)悬空设置的一端；竖直驱动件(312)，所述竖直驱动件(312)设置于所述安装座(311)上；以及竖直驱动轴(313)，所述竖直驱动轴(313)穿设于所述竖直驱动件(312)上，其由所述竖直驱动件(312)带动竖直往复运动。 7.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述导向组件(32)包括：卡块(321)，所述卡块(321)设置于所述竖直驱动组件(31)的一侧；直线轨条(322)，所述直线轨条(322)竖直卡设于所述卡块(321)上。 8.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述连接板(41)为L型，其水平设置的一侧与所述竖直驱动组件(31)的推送端固定连接，其竖直设置的一侧与所述导向组件(32)竖直方向的底部固定连接。 9.根据权利要求1所述的一种多工位硅片转移系统，其特征在于，所述吸附组件(42)包括：真空吸管(421)，所述真空吸管(421)为竖直设置，且其一端穿设于所述连接板(41)底部，另一端悬空设置；真空吸盘(422)，所述真空吸盘(422)固定设置于所述真空吸管(421)悬空设置的一端。
所属类别：	实用新型