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原文传递透射电镜原位液体环境力学试验平台

专利名称：	透射电镜原位液体环境力学试验平台
摘要：	本发明涉及材料原位微纳实验平台领域，提供一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，装载台包括下芯片、上芯片和加载器件。下芯片上表面设有第一凹槽，第一凹槽底面设有沟槽，沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，第二凹槽和第一凹槽形成用于安装加载器件的容置空间，上芯片的上表面设有热电阻；上芯片下表面与下芯片上表面连接，加载器件下表面与第一凹槽底面连接，加载器件设有驱动梁，驱动梁设有样品搭载区；下薄膜窗口、样品搭载区和上薄膜窗口对中设置。本发明可实现对样品在液体腐蚀环境下力学测试，解决了目前透射电镜无法有效进行原位液体环境下力学测试的问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京工业大学
发明人：	毛圣成;马腾云;张泽;马东锋;韩晓东;栗晓辰;张剑飞;翟亚迪;李志鹏;李雪峤;张晴
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910347092.3
公开号：	CN110044700A
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：	苗青盛;谭云
分类号：	G01N3/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N3
申请人地址：	100022 北京市朝阳区平乐园100号
主权项：	1.一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，所述装载台安装于所述样品杆的观测端，其特征在于，所述装载台包括下芯片、上芯片和加载器件；所述下芯片上表面设有第一凹槽，所述第一凹槽的底面设有沟槽，所述沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；所述上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，所述第二凹槽和所述第一凹槽用于形成安装所述加载器件的容置空间，所述上芯片的上表面设有热电阻；所述上芯片的下表面与所述下芯片的上表面相连接，所述加载器件的下表面与所述第一凹槽的底面相连接，所述加载器件设有第二通孔，所述第二通孔内设有驱动梁，所述驱动梁与所述第二通孔的孔壁连接；所述驱动梁上设有样品搭载区，所述下薄膜窗口、所述样品搭载区和所述上薄膜窗口对中设置。 2.根据权利要求1所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述装载台还包括底座和压板；所述底座的上表面设有用于放置所述下芯片的第三凹槽，所述第三凹槽的底面与所述下芯片的下表面相连接；在所述第三凹槽的底面设有第三通孔和两个输液孔，所述第三通孔与所述下薄膜窗口相对应设置，两个所述输液孔与两个所述第一通孔一一对应设置；在所述第三凹槽的底面还设有第一密封环槽，所述第三通孔位于所述第一密封环槽内部区域，每一个所述输液孔位于所述第一密封环槽外部区域，所述第一密封环槽内容置有第一密封圈；所述压板的下表面与所述上芯片的上表面相连接，用于盖压所述上芯片；所述压板上设有第四通孔，所述第四通孔与所述上薄膜窗口相对应设置。 3.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述底座的上表面还设有用于放置所述上芯片的第四凹槽，所述上芯片的下表面与所述第四凹槽的底面相连接；在所述第四凹槽的底面设有第二密封环槽，所述第三凹槽位于所述第二密封环槽的内部区域，所述第二密封环槽内容置有第二密封圈。 4.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述样品杆设有供电引线，所述底座的上表面设有与所述供电引线相连接的第一导电片，所述上芯片的上表面设有与所述热电阻相连接的第二导电片，所述压板的下表面设有连接所述第一导电片和所述第二导电片的第三导电片。 5.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述样品杆还设有两个输液通道，两个所述输液通道与两个所述输液孔一一对应连通。 6.根据权利要求1所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述第一凹槽的槽深为100-980纳米，所述沟槽的槽深为20-100纳米。 7.根据权利要求1所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述驱动梁包括斜面凹槽，所述斜面凹槽的底面为所述样品搭载区；在所述上芯片的下表面设有环形凹槽，所述环形凹槽的深度大于所述驱动梁的厚度；所述上薄膜窗口设于所述环形凹槽的内环区域。 8.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述下芯片为圆形，所述下芯片边缘设有定位缺口，所述第三凹槽的槽边设有与所述定位缺口相对应的定位凸出。 9.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所述上芯片为矩形，所述加载器件为圆形，所述加载器件上设有定位通孔，所述第二凹槽的底面设有与所述定位通孔相对应的定位凸起。 10.根据权利要求2所述的透射电镜原位液体环境力学试验平台，其特征在于，所示装载台还包括紧固螺钉，所述底座和所述压板上设置有相对应的螺纹通孔，所述底座和所述压板通过穿过所述螺纹通孔的所述紧固螺钉螺纹连接。
所属类别：	发明专利