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一种透射电镜原位力学样品的无损制备方法
| 专利名称： | 一种透射电镜原位力学样品的无损制备方法 |
| 摘要： | 一种透射电镜原位力学样品的无损制备方法，将样品分散在酒精中，使用5‑20pA的离子束将Pt沉积到纳米机械手与样品的接触处，将机械手与样品焊接，远离机械手的一端伸出样品台形成悬臂梁，悬臂梁的长度为500nm‑5μm，样品靠近机械手用5‑30pA的离子束用Pt沉积将样品固定，沉积时间为20‑50s，随后使用100‑600pA的离子束将机械手探针尖端切断，取出放置有样品的原位力学测试样品台，在光学显微镜下利用微机械装置将样品用环氧树脂导电银胶进行固定，利用导电银漆将固定有样品的原位力学样品台固定在透射电镜原位力学系统样品杆的样品座上，用平头压针在透射电镜下对样品进行透射电镜原位压缩、压曲及弯曲实验。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 大连理工大学 |
| 发明人： | 张振宇;陈雷雷;崔俊峰;刘冬冬 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810734397.5 |
| 公开号： | CN108896365A |
| 代理机构： | 大连理工大学专利中心 21200 |
| 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1;G01N1/28 |
| 申请人地址： | 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 |
| 主权项： | 1.一种透射电镜原位力学样品的无损制备方法，在透射电镜中进行原位压缩、压曲及弯曲实验，其特征在于：(1)样品为纳米线、纳米管一维纳米材料；(2)将样品分散在酒精中，并超声1‑3min，然后利用塑料喷雾器将溶有样品的酒精溶液喷洒在无碳膜的透射电镜铜网上；(3)将放有样品的透射电镜铜网固定在FIB双束操作系统的放样台上，用电子束成像寻找到单根的样品，其长度范围为20‑150μm，直径范围为20‑200nm；(4)操控FIB双束操作系统的纳米机械手使其接近样品，并最终与样品一端接触；(5)使用5‑20pA的离子束将Pt沉积到纳米机械手与样品的接触处，沉积时间为5‑30s，将机械手与样品焊接起来；(6)操作机械手将样品转移到原位力学测试样品台基片边缘，样品靠近机械手的一端在样品台上，远离机械手的一端伸出样品台形成悬臂梁，悬臂梁的长度为500nm‑5μm；(7)在样品靠近机械手处用5‑30pA的离子束通过Pt沉积将样品固定，沉积时间为20‑50s，随后使用100‑600pA的离子束将机械手探针尖端切断；(8)取出放置有样品的原位力学测试样品台，在光学显微镜下利用微机械装置将样品用环氧树脂导电银胶进行固定，在干燥柜中放置5‑10小时，使环氧树脂导电银胶固化；(9)利用导电银漆将固定有样品的原位力学测试样品台固定在透射电镜原位力学系统样品杆的样品座上；(10)将样品座利用螺钉固定在样品杆上，用平头压针在透射电镜下对样品进行透射电镜原位压缩、压曲及弯曲实验。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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