专利名称: |
一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法 |
摘要: |
一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法,在聚焦离子束系统中将样品台倾转54°,样品待切割部分沉积Pt保护层,利用4nA的离子束将样品待切割部分四周材料去除,形成微米片,利用离子束对微米片进行修整,将样品台倾转28‑38°,将机械手上的微米片焊接在拉伸装置上,将样品台倾转‑18‑5°,用2nA的离子束将微米片切割为工字型,微米片中间部分宽度为0.5‑3.5μm,先用离子束沉积一层Pt层,然后利用离子束对微米片进行减薄,使微米片厚度减薄至50‑150nm,在透射电镜中对样品进行原位拉伸实验。本发明提供一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法,实现了块体材料的透射电镜原位力学拉伸实验的样品制备。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
辽宁;21 |
申请人: |
大连理工大学 |
发明人: |
张振宇;王博;崔俊峰;陈雷雷;刘冬冬 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810788822.9 |
公开号: |
CN108760438A |
代理机构: |
大连理工大学专利中心 21200 |
代理人: |
温福雪;侯明远 |
分类号: |
G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1;G01N1/28 |
申请人地址: |
116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 |
主权项: |
1.一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法,用聚焦离子束对样品进行切割、转移、固定、减薄,在透射电镜下对样品进行拉伸实验,其特征在于:(1)样品为块体材料,长10μm‑20mm,宽10μm‑20mm,高4μm‑4mm;(2)将样品用导电胶固定在水平样品台上,将拉伸装置用导电胶固定在45°样品台上;(3)在聚焦离子束系统中将样品台倾转54°,样品待切割部分沉积一层Pt保护层,厚度200‑600nm;(4)利用4nA的离子束将样品待切割部分四周材料去除,形成长8‑12μm,深8‑12μm,厚1.5‑2.5μm的微米片;(5)利用600pA‑2nA的离子束对微米片进行修整,样品台沿倾转方向补偿1.5‑2.5°;(6)将样品台倾转5‑10°,利用离子束辅助沉积将微米片焊接在机械手上,用600pA‑2nA的离子束将微米片切断,微米片脱离样品基底;(7)将样品台倾转9°,在拉伸装置样品固定位置沉积一层Pt,厚度为0.6‑1.0μm;(8)将样品台倾转28‑38°,将机械手上的微米片焊接在拉伸装置上;(9)将样品台倾转‑18‑5°,用2nA的离子束将微米片切割为工字型,微米片中间部分宽度为0.5‑3.5μm;(10)将样品台水平旋转180°,然后倾转8‑18°,先用离子束沉积一层200‑600nm厚的Pt层,然后利用20‑120pA的离子束对微米片进行减薄,减薄时样品台沿倾转方向补偿1.5‑2.5°,使微米片厚度减薄至50‑150nm;(11)将拉伸装置固定在透射电镜原位力学系统样品杆上,在透射电镜中对样品进行原位拉伸实验。 |
所属类别: |
发明专利 |