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原文传递机械手及芯片测试系统

专利名称：	机械手及芯片测试系统
摘要：	本实用新型提出一种机械手、芯片测试系统，涉及半导体生产技术领域，所述芯片测试系统包括：测试底座，用于测试芯片；传感器，设置于所述测试底座的上方，用于探测所述测试底座与所述芯片的位置关系；机械手，位于所述测试底座的上方，用于将所述芯片放置和移离于所述测试底座，且所述机械手不位于所述传感器的探测范围内；报警装置，所述报警装置连接所述传感器，并根据传感器探测的所述芯片与所述测试底座的位置关系进行相应的报警处理。本实用新型通过在测试底座的上方设置传感器，可以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	长鑫存储技术有限公司
发明人：	陆玉斌
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201821629828.3
公开号：	CN209167331U
代理机构：	北京律智知识产权代理有限公司
代理人：	袁礼君;阚梓瑄
分类号：	G01N35/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N35
申请人地址：	230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
主权项：	1.一种芯片测试系统，其特征在于，包括：测试底座，用于测试芯片；传感器，设置于所述测试底座的上方，用于探测所述测试底座与所述芯片的位置关系；机械手，位于所述测试底座的上方，用于将所述芯片放置和移离于所述测试底座，且所述机械手不位于所述传感器的探测范围内；报警装置，所述报警装置连接所述传感器，并根据传感器探测的所述芯片与所述测试底座的位置关系进行相应的报警处理。 2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述传感器与所述机械手固定连接。 3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述传感器固定设置于所述测试底座垂直上方。 4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，还包括测试舱；其中，所述测试底座、所述机械手和所述传感器设置在所述测试舱内部，所述传感器固定于所述测试舱顶部。 5.根据权利要求1至4中任意一项所述的系统，其特征在于，所述传感器包括测距传感器。 6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述测距传感器包括激光位移传感器。 7.一种用于抓取芯片的机械手，其特征在于，包括：机械手本体；和与所述机械手本体固定连接的传感器，所述传感器用于探测用于测试芯片的测试底座与所述芯片的位置关系；其中，所述机械手本体不位于所述传感器的探测范围内。 8.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述传感器包括测距传感器。 9.根据权利要求8所述的机械手，其特征在于，所述测距传感器包括激光位移传感器。 10.根据权利要求7至9任一项所述的机械手，其特征在于，所述机械手还包括报警装置，所述报警装置连接所述传感器，并根据传感器探测的所述芯片与所述测试底座的位置关系进行相应的报警处理。
所属类别：	实用新型