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基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法
| 专利名称： | 基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，该方法包括以下步骤：试样准备；将试样放入溅射蒸碳仪中进行喷碳处理；在待测区域滴1‑2滴无水乙醇溶剂；将电镜载网放置在试样待测区域，并与试样表面贴合；将覆盖有铜网的试件放入小型离子溅射仪中进行喷铂处理；取下试样上的电镜载网，则试样上留下网格状的散斑图案。上述方法能够制备高质量微米级散斑，并具有工艺简单、成本低、效率高的特点，便于应用和推广。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 上海大学 |
| 发明人： | 李洁;王刚;贾延东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-03-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-26T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910165618.6 |
| 公开号： | CN110057632A |
| 代理机构： | 上海上大专利事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 顾勇华 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
| 申请人地址： | 200444 上海市宝山区上大路99号 |
| 主权项： | 1.一种基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于，包括如下步骤： a.试样预处理： 将待测试件切割成所需要的形状，并将待测试件表面进行磨平并抛光成镜面，并将待测试件表面进行清洗、干燥，得到具有光洁表面的待测试件，完成试样预处理；当待测试件为金属样品时，对待测试件表面进行磨平并抛光时的工艺按照金相试样进行处理； b.制备碳膜： 将在所述步骤a中完成试样预处理得到的待测试件放入溅射型蒸碳仪中，对待测试件的光洁表面进行喷碳处理，使待测试件的光洁表面均匀覆盖一层碳膜； c.润湿试样待测区域： 在待测试件的待测区域上的碳膜表面滴加1-2滴无水乙醇溶剂，使待测试件的待测区域润湿； d.将电镜载网放到待测试件的待测区域，并将电镜载网放到光学显微镜下观察，利用在所述步骤c中滴加乙醇溶剂，使铜网和待测试件的待测区域紧密贴合； e.将覆盖有电镜载网的待测试件放入离子溅射仪中进行喷铂处理，在待测试件的待测区域制备铂金属膜； f.将用镊子将待测试件上的电镜载网取下，则在待测试件表面留下网格状的散斑图案。 2.根据权利要求1所述基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于：在所述步骤a中，使用乙醇或丙酮清洗待测试件表面。 3.根据权利要求1所述基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于：在所述步骤b中，所述喷碳的工艺持续时间为5-20s。 4.根据权利要求1所述基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于：在所述步骤d中，采用的电镜载网的孔径为50目～2000目。 5.根据权利要求1所述基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于：在所述步骤e中，所述喷铂的工艺持续时间为20-40s。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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