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原文传递一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置

专利名称：	一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置
摘要：	针对现有技术中的膜层激光损伤阈值测量存在较大的主观因素，导致测量的膜层激光损伤阈值不准确，本发明提供一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置，其光输出系统输出的测量光束通过光束分束装置分为完全相同的两束光束；其中的一束输入至用于记录光束强度的光束质量诊断系统中；另一束光束照射在光学膜层上；当该照射在光学膜层上的光束强度达到或超过膜层损伤的阈值，则该光信息采集装置中接收到带有光学膜层基底元素的谱线，根据光束质量诊断系统中的光束能量、光斑直径确定该光学膜层的损伤的阈值。本发明极大的提高了光学膜层激光损伤阈值测量的准确性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	河南科技大学
发明人：	王静鸽;李小龙;李贺贺;甄志强;李新忠
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910095088.2
公开号：	CN109668906A
代理机构：	洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	薛布赫
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	471000 河南省洛阳市涧西区西苑路48号
主权项：	1.一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法，其特征在于：将激光输出系统(100)输出的测量光束通过光束分束装置(300)分为完全相同的两束光束；其中的一束输入至用于记录光束强度的光束质量诊断系统(400)中；另一束光束照射在光学膜层(900)上；当该照射在光学膜层(900)上的光束强度达到或超过膜层损伤的阈值，则该光信息采集装置(600)中接收到带有光学膜层(900)基底元素的谱线，根据光束质量诊断系统(400)中的光束能量、光斑直径确定该光学膜层(900)的损伤的阈值。 2.根据权利要求1所述的一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法，其特征在于：所述光学膜层(900)损伤阈值计算方法为：Fth＝4E/πd2；其中E为激光能量，d为光斑直径，Fth单位为J/cm2。 3.一种应用权利要求1所述方法的测量装置，其特征在于：包括用于输出针对膜层进行测量光束的激光输出系统(100)、设置在激光输出系统(100)一侧的光学膜层(900)以及设置在光学膜层(900)另一侧的光信息采集装置(600)，还包括设置在激光输出系统(100)与光学膜层(900)之间的光束分束装置(300)、光束质量检测系统(400)以及信息处理系统(800)；其中，光束分束装置(300)将激光输出系统(100)输出的测量光束分为两束完全相同的光束，其中一束光束入射到光束质量诊断系统(400)，另一束光束入射到光学膜层(900)的表面；该光学膜层(900)的另一侧设置有光信息采集装置(600)；信息处理系统(800)采集光信息采集装置(600)中的信息，根据光信息采集装置(600)中的光学膜层(900)光谱线控制激光输出系统(100)的输出能量增加或者停止。 4.根据权利要求3所述的一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量装置，其特征在于，还包括光束衰减系统(200)；其中，光束衰减系统(200)设置在激光输出系统(100)与光束分束装置(300)之间，与信息处理系统(800)电连接，用于根据信息处理系统(800)的指令控制激光输出系统(100)的输出增加或者停止。 5.根据权利要求3所述的一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量装置，其特征在于，还包括设置在激光输出系统(100)与光信息采集装置(600)之间的用于调整光信息采集装置(600)采集的延迟时间和积分门宽的脉冲延时发生器(700)。
所属类别：	发明专利