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ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法
| 专利名称： | ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法 |
| 摘要： | 一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 发明人： | 赵元安;彭丽萍;刘晓凤;李大伟;邵建达;王玺;彭小聪;李成;马浩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811484743.5 |
| 公开号： | CN109540839A |
| 代理机构： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 |
| 代理人： | 张宁展 |
| 分类号： | G01N21/39(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 201800 上海市嘉定区清河路390号 |
| 主权项： | 1.一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置，其特征在于，包括：泵浦连续激光器(1)、可二维移动的样品台(3)、探测连续激光器(4)、分束镜(5)、第一功率计(6)、第二功率计(7)、计算机(8)和万用表(9)；待测ITO透明导电膜样品(2)的膜面需刻蚀出一个宽度为d的带状结构，且带状结构宽度d为所述泵浦连续激光器(1)辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(6)表面的光斑直径D的1.5～2倍；所述待测ITO透明导电膜样品(2)夹持在所述样品台(3)上，所述泵浦连续激光器(1)输出的激光垂直辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面，所述探测连续激光器(4)输出的激光经所述分束镜(5)后分成反射光束和透射光束，反射光束由所述第一功率计(6)接收，透射光束以一定角度辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面，辐照区域与所述泵浦连续激光器(1)辐照的区域重合，且经待测ITO透明导电膜样品(2)透射的光束由所述第二功率计(7)接收；所述万用表(9)的两个探头分别固定在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面带状结构的两端，所述计算机(8)的输入端分别与所述第一功率计(6)、第二功率计(7)和万用表(9)的输出端相连。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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