专利名称: |
一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 |
摘要: |
本发明公开了一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器。每个所述跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段,其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,上下直道段分别与两条直线信道波导耦合;另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合,下直道段不经过耦合区域。本发明使用时,输入的光由上方直线信道波导耦合入第一个跑道型微环谐振器,而后耦合出至下方直线信道波导,再经由四个跑道型微环谐振器,最终在输出端形成尖锐且低背景噪声的单一谐振峰,实现高灵敏度,高品质因子,低误差的液体折射率检测功能。 |
专利类型: |
发明专利 |
申请人: |
东南大学 |
发明人: |
崔一平;孙彧;胡国华;恽斌峰;张若虎 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
1900-01-20T14:00:00+0805 |
发布日期: |
1900-01-20T05:00:00+0805 |
申请号: |
CN202010035589.4 |
公开号: |
CN111103261A |
代理机构: |
南京众联专利代理有限公司 |
代理人: |
张伟 |
分类号: |
G01N21/41;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/41 |
申请人地址: |
210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号 |
主权项: |
1.一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器,两条直线信道波导分别为上方直线信道波导和下方直线信道波导;每个跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段,其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,其上下直道段分别与两条直线信道波导耦合;另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合,下直道段不经过耦合区域。 2.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器均为光栅结构。 3.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的弯曲部分的光栅结构的构造相同。 4.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述所有跑道型微环谐振器的弯曲部分形状尺寸相同。 5.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述的跑道型微环谐振器的上下直道段的光栅周期与其他区域不同。 6.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:第一个跑道型微环谐振器的上下耦合区域的耦合间距相同。 7.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:另外四个跑道型微环谐振器的耦合区域的耦合间距均相同。 8.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述上下直线信道波导两端的输入端和输出端由普通波导拉锥渐变为光栅波导的结构。 9.根据权利要求1-8任意一项所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的材质均为SOI。 |
所属类别: |
发明专利 |